半导体专业术语英语及汉语翻译（摘抄知乎）
A
1stlevelpackaging第一级封装
2ndlevelpackaging第二级封装
aberration象差/色差
absorption吸收
accelerationcolumn加速管
acceptor受主
Accumulatev.积聚,堆积
acid酸
acousticstreaming声学流
activeregion有源区
activate激活
activateddopant激活杂质
activecomponent有源器件
adsorption吸附
aerosol悬浮颗粒
airionizer空气电离化器
alignmentmark对准标记
alignment对准
alloy合金
alternateadj.交替的,轮流的,预备的v.交替,轮流,改变
aluminum铝
aluminumsubtractiveprocess铝刻蚀工艺
ambient环境
ammonia(NH3)氨气
ammoniumfluoride(NH4F)氟化氨
ammoniumhydroxide(NH4OH)氢氧化氨
amorphous非晶的，无定型
analog模拟信号
angstrom埃
anion阴离子
anisotropicetchprofile各向异性刻蚀剖面
anneal退火
antimony(sb)锑
antirelectivecoating(ARC)抗反射涂层
APCVD常压化学气向淀积
applicationspecificIC(ASIC)专用集成电路
aqueoussolution水溶液
areaarray面阵列
argon（Ar）n.[化]氩
arsenic(As)砷
arsine(AsH3)砷化氢，砷烷
ashing灰化，去胶
aspectratio深宽比，高宽比
asphyxiant窒息剂
assaynumber检定数
atmosphericadj.大气的
atmosphericpressure大气压
atmosphericpressureCVD(APCVD)常压化学气向淀积
atomicforcemicroscopy(AFM)原子力显微镜
atomicnumber原子序数
attemptn.努力,尝试,企图vt.尝试,企图
augerelectronspectroscopy(AES)俄歇电子能谱仪
autodoping自掺杂
automaticdefectclassification(ADC)缺陷自动分类
B
back-endofline(BEOL)（生产线）后端工序
backgrind减薄
backingfilm背膜
bafflevt.困惑,阻碍,为难（挡片）
baffleassemblyn.集合,装配,集会,集结,汇编（挡片块）
ballgridarray(BGA)球栅阵列
ballroomlayout舞厅式布局，超净间的布局
barrelreactor圆桶型反应室
barriermetal阻挡层金属
barriervoltage势垒电压
base基极，基区
batch批
bayandchaselayout生产区和技术夹层区
beamblow-up离子束膨胀
beamcurrent束流
beamdeceleration束流减速
beamenergy离子束能量
beol（生产线）后端工序
bestfocus最佳聚焦
BGA球栅阵列
Biasing电压拉偏
BICMOS双极CMOS
bincodenumber分类代码号
binmap分类图
bipolarjunctiontransistor(BJT)双极晶体管
bipolartechnology双极技术（工艺）
bird’sbeakeffect鸟嘴效应
blanketdeposition均厚淀积
blower增压泵
boat舟
BOE氧化层刻蚀缓冲剂Bonvoyage[法]再见,一路顺风[平安]
bondingpads压点
bondingwire焊线，引线
boron(B)硼
borontrichloride(BCL3)三氯化硼
borontrifluoride(BF3)三氟化硼
borophosphosilicateglass(BPSG)硼磷硅玻璃
borosilicateglass(BSG)硼硅玻璃
bottomantireflectivecoating(BARC)下减反射涂层
boule单晶锭
bracketn.墙上凸出的托架,括弧,支架v.括在一起
breakthroughstep突破步骤，起始的干法刻蚀步骤
brightfielddetection亮场检查
brushscrubbing涮洗
bubbler带鼓泡槽
bufferedoxideetch(BOE)氧化层腐蚀缓冲液
bulkchemicaldistribution批量化学材料配送
bulkgases大批气体
bulkheadequipmentlayout穿壁式设备布局
bumpedchip凸点式芯片
buriedlayer埋层
burn-box燃烧室（或盒）
burn-in老化
C
CA化学放大（胶）
cantilevern.[建]悬臂
cantileverpaddle悬臂桨
capoxide掩蔽氧化层
capacitance电容
capacitance-voltagetest(C-Vtest)电容-电压测试
capacitivecoupledplasma电容偶合等离子体
capacitor电容器
carbontetrafluoride(CF4)四氟化碳
caro’sacid3号液
carrier载流子
carrier-depletionregion载流子耗尽层
carriergas携带气体
cassette（承）片架
cation阳离子
caustic腐蚀性的
cavitation超声波能
CD关键尺寸
CD-SEM线宽扫描电镜
Celsiusadj.摄氏的
centeroffocus(COF)焦点焦平面
centerslow中心慢速
centralprocessingunit(CPU)中央处理器
ceramicsubstrate陶瓷封装
CERDIP陶瓷双列直插封装
Channel沟道
channellength沟道长度
channeling沟道效应
chargecarrier载流子
chase技术夹层
chelatingagent螯合剂
chemicalamplification(CA)化学放大胶
chemicaletchmechanism化学刻蚀机理
chemicalmechanicalplanarization(CMP)化学机械平坦化
chemicalsolution化学溶液
chemicalvapordeposition(CVD)化学气相淀积
chip芯片
chiponboard(COB)板上芯片
chipscalepackage(CSP)芯片尺寸封装
circuitgeometries电路几何尺寸
classnumber净化级别
cleanroom净化间
cleanroomprotocol净化间操作规程
Clearfieldmask亮场掩膜板
Clustertool多腔集成设备
CMOS互补金属氧化物半导体
CMP化学机械平坦化
Coater/developertrack涂胶/显影轨道
Cobaltsilicide钴硅化合物
coefficientn.[数]系数
Coefficientofthermalexpansion(CTE)热涨系数
Coherenceprobemicroscope相干探测显微镜
Coherentlight相干光
coilv.盘绕,卷
Coldwall冷壁
Collector集电极
Collimatedlight平行光
Collimatedsputtering准直溅射
Compensatev.偿还,补偿,付报酬
Compoundsemiconductor化合物半导体
Concentration浓度
Condensation浓缩
Conductor导体
constantlyadv.不变地,经常地,坚持不懈地
Confocalmicroscope共聚焦显微镜
Conformalstepcoverage共型台阶覆盖
Contact接触（孔）
Contactalignment接触式对准（光刻）
Contactanglemeter接触角度仪
Contamination沾污、污染
contiboat连柱舟
conticaster[冶]连铸机
Continuousspraydevelop连续喷雾显影
Contourmaps包络图、等位图、等值图
Contrast对比度、反差
contributionn.捐献,贡献,投稿
Conventional-linephotoresist常规I线光刻胶
Cook’stheory库克理论
CopperCVD铜CVD
Copperinterconnect铜互连
Costofownership(COO)业主总成本
Covalentbond共价键
Criticaldimension关键尺寸
Cryogenicaerosolcleaning冷凝浮质清洗
Cryogenicpump(cryopump)冷凝泵
Crystal晶体
Crystalactivation晶体激活
Crystaldefect晶体缺陷
Crystalgrowth晶体生长
Crystallattice晶格
Crystalorientation晶向
CTE热涨系数
Current-drivencurrentamplifier电流驱动电流放大器
CVD化学气相淀积
Cycletime周期
CZcrystalpullerCZ拉单晶设备
Czochralski(CZ)method切克劳斯基法
D
damascene大马士革工艺
darkfileddetection暗场检测
darkfiledmask暗场掩膜版
DCbias直流偏压
decomposev.分解,(使)腐烂
deepUV(DUV)深紫外光
defaultn.默认(值),缺省(值),食言,不履行责任,[律]缺席v.疏怠职责,缺席,拖欠,默认
defectsdensity缺陷密度
defect缺陷
deglaze漂氧化层
degreeofplanarity(DP)平整度
dehydrationbake去湿烘培，脱水烘培
density密度
deplentionmode耗尽型
degreeoffocus焦深
depositn.堆积物,沉淀物,存款,押金,保证金,存放物vt.存放,堆积vi.沉淀
deposition淀积
depositedoxidelayer淀积氧化层
depthoffocus焦深
descum扫底膜
designfortest(DFT)可测试设计
desorption解吸附作用
developinspect显影检查
development显影
developer显影液
deviationn.背离
deviceisolation器件隔离
devicetechnology器件工艺
DIwater去离子水
Diametern.直径
diametergrinding磨边
diborane（B2H6）乙硼烷
dichlorosilane(H2SiCL2)二氯甲硅烷
die芯片
diearray芯片阵列
dieattach粘片
die-by-diealignment逐个芯片对准
dielectric介质
dielectricconstant介电常数
diematrix芯片阵列
dieseparation分片
diffraction衍射
diffraction-limitedoptics限制衍射镜片
diffusion扩散
diffusioncontrolled受控扩散
digital/analog数字/模拟
digitalcircuit
diluent
directchipattach(DCA)
directionality
discrete
dishing
dislocation
dissolutionrate
dissolutionratemonitor(DRM)溶解率监测
DNQ-novolak重氮柰醌－酚醛树脂
Donor施主
dopantprofile掺杂刨面）
dopedregion掺杂区
doping掺杂
dosemonitor剂量检测仪
dose,Q剂量
downstreamreactor顺流法反应
drain漏
drive-in推进
dryetch干法刻蚀
drymechanicalpump干式机械泵
dryoxidation干法氧化
dummyn.哑巴,傀儡,假人,假货adj.虚拟的,假的,虚构的n.[计]哑元
dynamicadj.动力的,动力学的,动态的
E
economiesofscale规模经济
edgebeadremoval边缘去胶
edgedie边缘芯片
edgeexclusion无效边缘区域
electricallyerasablePROM电可擦除EPROM
electrode电极
electromigration电迁徙
electronbeamlithography电子束光刻
electroncyclotronresonance电子共振回旋加速器
electronshower电子簇射，电子喷淋
electronstopping电子阻止
electronicwafermap硅片上电性能分布图
electroplating电镀
electropolishing电解抛光
electrostaticchuck静电吸盘
electrostaticdischarge(ESD)静电放电
ellipsometry椭圆偏振仪，椭偏仪
emitter发射极
endpointdetection终点检测
engineeringn.工程(学)
electrostaticdischarge(EDX)能量弥散谱仪
enhancementmode增强型
epi外延
epitaxiallayer外延层
epoxyunderfill环氧树脂填充不足
erasablePROM可擦除可编程只读存储器
erosion腐蚀，浸蚀
establishvt.建立,设立,安置,使定居,使人民接受,确定v.建立
etch刻蚀
etchbias刻蚀涨缩量
etchprofile刻蚀刨面
etchrate刻蚀速率
etchresidue刻蚀残渣
etchuniformity刻蚀均匀性
etchant刻蚀剂
etchbackplanarization返刻平坦化
eutecticattach共晶焊接
eutectictemperature共晶温度
evaporation蒸发
evenadj.平的,平滑的,偶数的,一致的,平静的,恰好的,平均的,连贯的adv.[加强语气]甚至(...也),连...都,即使,恰好,正当vt.使平坦,使相等vi.变平,相等n.偶数,偶校验
exceedvt.超越,胜过vi.超过其他
excimerlaser准分之激光
exposaln.曝光,显露
exposure曝光
exposuredose曝光量
extractionelectrode吸极
extremeUV极紫外线
extrinsicsilicon掺杂硅
F
Fables无制造厂公司
fabrication制造
facilities设施
factorn.因素,要素,因数,代理人
fastrampfurnaces快速升降温炉
faultmodel失效模式
FCCdiamond面心立方金刚石
featuresize特征尺寸
FEOL前工序
Fick’slawsFICK定律
field-effecttransistor场效应晶体管
fieldoxide场氧化
field-by-fieldalignment逐场对准
field-programmablePROM现场可编程只读存储器
film膜
filmstress膜应力
finalassemblyandpackaging最终装配和封装
finaltest终测
firstinterlayerdielectric(ILD-1)第一层层间介质
fixedoxidecharge固定氧化物电荷
flats定位边
flipchip倒装芯片
floatzone区熔法
fluorosilicateglass(FSG)氟化玻璃
focallength焦距
focalplane焦平面
focalpoint焦点
focus聚焦
focusionbeam(FIB)聚焦离子束
footprint占地面积
formulan.公式,规则,客套语
forwardbias正偏压
four-pointprobe四探针
frenkeldefectFrenkel缺陷
front-openingunifiedpod(FOUP)前开口盒
functionaltest功能测试
furnaceflatzone恒温区
G
g-lineG线
gallium(Ga)镓
galliumarsenide(GaAs)砷化镓
gapfill间隙填充
gas气体
gascabinet气柜
gasmanifold气瓶集装
gasphasenucleation气相成核
gaspurge气体冲洗
gasthroughput气体产量
gate栅
gateoxide栅氧化硅
gateoxideintegrity栅氧完整性
germanium(Ge)锗
getter俘获
glass玻璃
glazing光滑表面
globalalignment全局对准
globalplanarization全局平坦化
glowdischarge起辉放电
grayarea灰区，技术夹层
grossdefect层错
groven.小树林
grownoxidelayer热氧化生长氧化层
H
Halogen卤素
hardbake坚膜
hardwaren.五金器具,(电脑的)硬件,(电子仪器的)部件
HEPAfilter高效过滤器
hermeticsealing密封
heteroepitaxy异质外延
heterogeneousreaction异质反应
hexamethyldisilazane(HMDS)六甲基二硅氨烷
high-densityplasma(HDPCVD)高密度等离子体化学气相淀积
high-densityplasmaetch高密度等离子刻蚀
high-pressureoxidation高压氧化
high-temperaturediffusionfurnace高温扩散炉
highvacuum高真空
highvacuumpumps高真空泵
hillock小丘（铝）尖刺
homoepitaxy同质外延
homogeneousreaction同质反应
horizontaladj.地平线的,水平的
horizontalfurnace卧式炉
hotelectron热电子
hotwall热壁
hydrochloricacid(HCL)盐酸
hydrofluoricacid(HF)氢氟酸
hydrogen(H2)氢气
hydrogenchloride(HCL)氯化氢
hydrogenperoxide(H2O2)双氧水
hydeophilic亲水性
hydrophobic憎水性，疏水性
hyperfiltration超过滤
I
i-lineI线
ICpackaging集成电路封装
ICreliability集成电路可靠性
Iddqtesting静态漏电流测试
imageresolution图象清晰度图象分解力
implantv.灌输（注入）
impurity杂质
incrementn.增加,增量
initialadj.最初的,词首的,初始的n.词首大写字母
insitumeasurements在线测量
indexofrefraction折射率
indium铟
inductivelycoupledplasma(ICP)电感耦合等离子体
inertgas惰性气体
infraredinterference红外干涉
ingot锭
inkmark墨水标识
in-lineparametrictest在线参数测试
input/output(I/O)pin输入/输出管脚
instituten.学会,学院,协会vt.创立,开始,制定,开始(调查),提起(诉讼)
insulator绝缘体
integratevt.使成整体,使一体化,求...的积分v.结合
integratedcircuit(IC)集成电路
integratedmeasurementtool集成电路测量仪
interconnect互连
interconnectdelay互连连线延迟
interface-trappedcharge界面陷阱电荷
interferometer干涉仪
interlayerdielectric(ILD)层间介质
interstitial间隙（原子）
intrinsicsilicon本征硅
invokev.调用
ion离子
ionanalyzer离子分析仪
ionbeammillingorionbeametching(IBE)离子铣或离子束刻蚀
ionimplantation离子注入
ionimplantationdamage离子注入损伤
ionimplantationdoping离子注入掺杂
ionimplanter离子注入机
ionprojectionlithography(IPL)离子投影机
ionization离子化
ionizedmetalplasmaPVD离子化金属等离子PVD
IPAvapordry异丙醇气相干燥
isolationregions隔离区
isotropicetchprofile各向同性刻蚀刨面
J
JEFT结型场效应管
junction(pn)PN结
junctiondepth结深
junctionspiking结尖刺
K
Kelvin绝对温度
killerdefect致命缺陷
kineticallycontrolledreaction功能控制效应
L
laminarairflow层状空气流，层流式
lapping抛光
latchup闩锁效应
lateraldiffusion横向扩散
lawofreflection反射定律
LDD轻掺杂漏
Leadframe引线框架
leakagecuttent漏电流
len透镜
lenscompaction透镜收缩
light光
lightintensity光强
lightscattering光散射
lightlydopeddrain(LDD)轻掺杂漏
linear线性
linearaccelerator线性加速器
linearstage线宽阶段，线性区
linewidth线宽
liquid液体
lithography光刻
loadedbrush沾污的毛刷
loadedeffect负载效应
loadlock真空锁
localinterconnect(LI)局部互连
localplanarization局部平坦化
localoxidationofsilicon(LOCOS)硅局部氧化隔离法
logic逻辑
lot批
low-pressurechemicalvapordeposition(LPCVD)低压化学气相淀积
LSI大规模集成电路
M
magneticCZ（MCZ）磁性切克劳斯基晶体生长法
magneticallyenhancedRIE(MERIE)磁增强反应离子刻蚀
magnetronsputtering磁控溅射
Magnificationn.扩大,放大倍率
magnificentadj.华丽的,高尚的,宏伟的
majoritycarrier多子
make-uploop补偿循环
mask掩膜版n.面具,掩饰,石膏面像vt.戴面具,掩饰,使模糊vi.化装,戴面具,掩饰,参加化装舞会
mask-programmablegatearray掩膜可编程门阵列
massflowcontroller(MFC)质量流量计
massspectrometer质谱仪
mass-transportlimitedreaction质量传输限制效应
mathematicaladj.数学的,精确的
meanfreepath(MFP)平均自由程
mediumvacuum中真空
megasoniccleaning超声清洗
melt熔融
membranecontactor薄膜接触器，隔膜接触器
membranefilter薄膜过滤器，隔膜过滤器
merchantn.商人,批发商,贸易商,店主adj.商业的,商人的
mercuryarclamp汞灯
MESFET用在砷化镓结型场效应晶体管中的金属栅
metalcontact金属接触孔
metalimpurities金属杂质
metalstack复合金属，金属堆叠
metallization金属化
metalorganicCVD金属有机化学气相淀积
metrology度量衡学
microchip微芯片
microdefect微缺陷
microlithography微光刻
micron微米
microprocessorn.[计]微处理器
microprocessorunit微处理器
microroughness微粗糙度
Millerindices密勒指数
minienvironment微环境
minimumgeometry最小尺寸
minoritycarrier少子
mixandmatch混合与匹配
mobileioniccontaminants(MIC)可动离子沾污
mobileoxidecharge可动氧化层电荷
modulen.模数,模块,登月舱,指令舱
modifyvt.更改,修改v.修改
molecularbeamepitaxy(MBE)分子束外延
molecularflow分子流
monitorwafer(testwafer)陪片，测试片，样片
monocrystal单晶
monolithicdevice单片器件
Moore'slaw摩尔定律
MOS金属氧化物半导体
MOSFET金属氧化物半导体场效应管
motorcurreantendpoint电机电流终点检测（法）
MSI中规模集成电路
Multipliern.增加者,繁殖者,乘数,增效器,乘法器
multichipmodule(MCM)多芯片模式
multilenelmetallization多重金属化
Murphy'smodel墨菲模型
N
nanometer(nm)纳米
nativeoxide自然氧化层
n-channelMOSFETn沟道MOSFET
negatineresist负性光刻胶
negativen.否定,负数,底片adj.否定的,消极的,负的,阴性的vt.否定,拒绝(接受)
negatineresistdevelopment负性光刻胶显影
neutralbeamtrap中性束陷阱
next-generationlithography下一代光刻技术
nitricacid(HNO3)硝酸
nitrogen(N2)氮气
nitrogentrifluoride(NF3)三氟化氮
nitrousoxide(N2O)一氧化二氮、笑气
nMOSn沟道MOS场效应晶体管
noncriticallayer非关键层
nonvolatilememory非挥发性存储器
normality归一化
notch定位槽
novolak苯酚甲醛聚树脂材料
npnnpn型（三极管）
n-typesiliconn型硅
nuclearstopping离子终止
nucleation成核现象，晶核形成
nucleicoalescence核合并
numericalaperture(NA)数值孔径
n-welln阱
O
objective（显微镜的）物镜
off-axisillumination(OAI)偏轴式曝光，离轴式曝光
ohmiccontact欧姆接触
opamp运算放大器
opticalinterferometryendpoint光学干涉法终点检测
opticallithography光学光刻
opticalmicroscope(lightmicroscope)光学显微镜
opticalproximitycorrection(OPC)光学临近修正
opticalpyrometer光学高温计
optics光学
organiccompound有机化合物
out-diffusion反扩散
outgassing除气作用
overdrive过压力
overetchstep过刻蚀
overflowrinser溢流清洗
overlayaccuracy套准精度
overlaybudget套准偏差
overlayregistration套刻对准
oxidation氧化
oxidation-inducedstackingfaults(OISF)氧化诱生层积缺陷，氧化诱生堆垛层错
oxide氧化物、氧化层、氧化膜
oxidezer氧化剂
oxide-trappedcharge氧化层陷阱电荷
ozone(O3)臭氧
P
package封装管壳
padconditioning垫修整
padoxide垫氧化膜
paddle悬臂n.短桨,划桨,明轮翼vi.划桨,戏水,涉水vt.用桨划,搅,拌
parabolicstage抛物线阶段
parallel-plate(planar)reactor平板反应
paralleltesting并行测试
parameter参数
parametrictest参数测试
parasitic寄生
parasiticcapacitance寄生电容
parasiticresistance寄生电阻
parasitictransistor寄生电阻器
partialpressure分压
particledensity颗粒密度
particleperwaferperpass(PWP)每步每片上的颗粒数
passivation钝化
passivationlayer钝化层
passivecomponents无源元件
patternsensitivity图形灵敏性
patternedetching图形刻蚀
patternwafer带图形硅片
patterning图形转移，图形成型，刻印
pcboard印刷电路版
p-channelMOSFETp沟道MOSFET
PCM工艺控制监测
PEB曝光后烘焙
PECVD等离子体增强化学气相淀积
PEL允许曝露极限值
pellicle贴膜
pentavalent五价元素
performvt.履行,执行,表演,演出v.完成任务
performingadj.表演的,履行的
perimetearray周边阵列式（封装）
pHscalepH值
phase-shiftmask(PSM)相移掩膜技术
phosphine(PH3)磷化氢
phosphoricacid(H3PO4)磷酸
phosphorus(P)磷
phosphorusoxychloride(POCL3)三氯氧磷
phosphosilicateglass(PSG)磷硅玻璃
photoacidgenerator(PAG)光酸产生剂
photoacoustics光声的
photoactivecompound(PAC)感光化合物
photographyn.摄影,摄影术光刻
photolithography光刻（技术）
photomask光掩膜
photoresist光刻胶
photoresiststripping去胶、光刻胶去除
physicaletchmechanism物理刻蚀机理
physicalvapordeposition(PVD)物理气相淀积
pigtail引出头
pingridarray(PGA)针栅阵列式（封装）
pinhole针孔
piranha3号液
pitch间距
planar平面
planarcapacitor平面电容
planarprocess平面工艺
planarization平坦化
plasma等离子体n.[解]血浆,乳浆,[物]等离子体,等离子区
plasma-baseddrycleaning等离子体干法清洗
plasmaelectronflood等离子电子流
plasmaenhancedCVD(PECVD)等离子体增强CVD
plasmaetch等离子体刻蚀
plasma-induceddamage等离子体诱导损伤
plasmapotentialdistribution等离子体势分布
plasticdualin-linepackage(DIP)双列直插塑料封装
plasticleadedchipcarrier(PLCC)塑料电极芯片载体
plasticpackaging塑料封装
plug塞，填充vt.堵,塞,插上,插栓n塞子,插头,插销
pMOS(p-channel)p沟道MOS
pnjunctiondiodepn结型二极管
pnppnp型三极管
pointdefect点缺陷
Poisson'smodel泊松模型
polarization极化，偏振
polarizedlight极化光，偏振光
polish抛光
polishrate抛光速率
polishedwaferedge(edgegrind)倒角
polishingloop磨抛循环
polishingpad抛光(衬)垫
polycide多晶硅化物
polycrystal多晶
polymern.聚合体
polymerformation聚合物方程式
polymerization聚合作用
polysilicon多晶硅
polysilicongate多晶硅栅
portionn.一部分,一分
positivelithography正性光刻
positiveresist正性光刻胶
positiveresistdevelopment正性光刻胶显影
post-developinspection显影后检查
post-exposurebake(PEB)曝光后烘焙
ppb十亿分之几
ppm百万分之几
ppt万亿分之几
preamorphization预非晶化
precursor先驱物
predeposition预淀积
premetaldielectric(PMD)金属前介质
prestonequationPreston方程
primaryorientationflat主定位边
printbias光刻涨缩量
printedcircuitboade(PCB)印刷电路板
probe探针
probecard探针卡
prober探针台
process工艺
processchamber工艺腔，工艺反应室
processchemical工艺化学
processcontrolmonitor(PCM)工艺控制监测（图形）
processlatitude工艺水平，工艺能力
processrecipe工艺菜单
programmablearraylogic(PLA)可编程阵列逻辑
programmablelogicdevice可编程逻辑器件
programmableread-onlymemory可编程只读存储器
projectedrange投影射程
promptn.提示,付款期限vt.提示,鼓动,促使,(给演员)提白adj.敏捷的,迅速的,即时的adv.准时地n.DOS命令：改变DOS系统提示符的风格
proportionn.比例,均衡,面积,部分vt.使成比例,使均衡,分摊
proportionaladj.比例的,成比例的,相称的,均衡的
proportionalband比例区,比例带,比例尺范围
proximityaligner接近式光刻机
p-typesiliconP型硅
puddledevelop搅拌式显影
pumpspeed抽气速率
punchthrough穿通
purge（冲气）清洗
purgecycle（冲气抽气）清洗循环
PVD物理气相淀积
p-wellP阱
pyrogenicsteam热流
pyrogen热原（质）
pyrolytic热解
pyrophoric自燃的
Q
quadflatpack(QFP)方型管壳封装
quadrupolemassanalyzer(QMA)四极质量分析仪
qualitymeasure质量测量
quarz石英
quarztube石英管
quarzwaferboat石英舟
R
radiationdamage辐射损伤
radical激发
randomaccessmemory(RAM)随机存储器
range射程
rapidthremalanneal(RTA)快速热退火
rapidthermalprocessor(RTP)快速热处理
RCAcleanRCA清洗
reactionratelimited反应速率限制
reactiveionetch(RIE)反应离子刻蚀
reactivity反应性
reactor反应室，反应腔
read-onlymemory(ROM)只读存储器
recombination复合
redistribution再分布
reflectionspectroscopy反射光谱仪
reflectivenotching反射开槽
reflow回流
refraction折射
refractorymetal难融金属
regeneration再生
regeneration套准精度
relativeindexofrefraction,n
removaln.移动,免职,切除
repeatn.重复,反复vt.重做,复述,向他人转述,复制,使再现vi.重复,留有味道
representationn.表示法,表现,陈述,请求,扮演,画像,继承,代表
resetv.重新安排
residualgasanalyzer(RGA)残余气体分析器
resist光刻胶
resistdevelopment光刻胶显影
resistance电阻
resistivity电阻率
resolution分辨率
reticle掩膜版
retrogradewell倒掺杂阱
reversebias反偏
reverseosmosis(RO)反向渗透
RF射频
RFsputtering射频溅射
rinsev.嗽口,(用清水)刷,冲洗掉,漂净n.清洗嗽洗,漂洗,漂清,冲洗
RO反向渗透
Rootsblower罗茨（机械增压）泵
roughingpump低真空泵，机械泵
RTA快速热退火
RTP快速热处理
S
satisfyvt.满足,使满意,说服,使相信v.满意,确保
Scaling按比例缩小
SCALPEL具有角度限制分散投影电子束光刻
Scanner扫描仪
scanningelectronmicroscope(SEM)扫描电子显微镜
scanningprojectionaligner扫描投影光刻机
schottkydiode肖特基二极管
screenoxidelayer掩蔽氧化层
scribeline划片道
scribelinemonitor(SLM)划片线监测
scumming底膜
secondaryelectron二次电子
secondaryelectronflood二次电子流
secondaryionmassspectrometry(SIMS)二次离子质谱（法）
seed’smodelSEED模型
selectiveetching选择性刻蚀
selectiveoxidation选择性氧化
selectivity选择性
semiconductorgradesilicon半导体极硅
semiconductor半导体
sensitivity灵敏度
shallowtrenchisolation(STI)浅沟槽隔离
sheetresistance,RS方块电阻
sheetresistivity,ρs方块电阻率
shotsize胶（点）尺寸
shrinking缩小
SIunits公制
Sidewallspacer侧墙
Silane(siH4)硅烷
Silicide硅化合物
silicon硅
silicondioxide(SIO2)二氧化硅
siliconnitride(SI3N4)氮化硅
silicononsapphire蓝宝石伤硅
silicononinsulator(SOI)绝缘体上硅
silicontetrachloride(SIC4)碳化硅
silicontetrafluoride(SIF4)四氟化硅
silicontetrachloride(SICL4)四氯化硅
singlecrystalsilicon单晶硅
silylation硅烷化（作用）
SIMOX由注入氧隔离，一种SOI材料
singlecrystal单晶
slip滑移
slurry磨料
SMIF标准机械接口
Sodiumhydroxide(NaOH)氢氧化钠
softbake前烘
solid固体
solvent溶剂
SOS蓝宝石上硅
Source源
sourcedrainimplants源漏注入
spacern.取间隔的装置,逆电流器
spatialcoherence空间相干
spatialsignatureanalysis空间信号分析
specialtygase特种气体
species种类
specificgravity比重
specificheat比热
speckle斑点
spectroscipicellipsometry椭圆偏振仪
spincoating光刻胶旋涂
spindryer旋转式甩干桶
spin-on-dielectric（SOD）旋转介质法
spin-on-glass（SOG）旋转玻璃法
spraycleaning喷雾清洗
sprayrinser喷雾清洗槽
spreadingresistanceprobe扩散电阻探测
sputtern.喷溅声,劈啪声,急语,咕哝vi.唾沫飞溅,发劈啪声,急忙地讲vt.喷出,飞溅出,气急败坏地说
sputtering溅射
sputteretch溅射刻蚀
sputteredaluminum溅射铝
sputteringyield溅射产额
SSI小规模集成电路
stackingfault层积缺陷，堆垛层错
standardclean1(SC-1)1号清洗液
standardclean2(SC-2)2号清洗液
standardmechanicalinterface(SMIF)机械标准接口
standingwave驻波
staticRAM静态存储器
statisticalprocesscontrol（SPC）统计过程控制
stepcoverage台阶覆盖
stepheight台阶高度
step-and-repeataligner分步重复光刻机
step-and-scansystem步进扫描光刻机
stepper步进光刻机
steppingmotordriver步进电机驱动器电路
stoichiometry化学计量（配比）
staggle投射标准偏差
stress应力
striation条纹
stripvt.剥,剥去n.条,带
stripping去胶
structure结构
subatmosphericCVD亚大气压化学气相淀积
submicron亚微米
sub-quartermicron亚0.25微米
substrate衬底
sublimation升华
substitutionalatom替位原子
subtractv.(～from)减去,减
subwaverlengthlithography亚波长光刻
sulfurhexafluoride(SF6)六氟化硫
sulfuricacid（H2SO4）硫酸
surfaceprofiler表面形貌
surfacetension表面张力
susceptor基座
T
targetchamber靶室
target靶
temperatureramprate温度斜率
temperature温度
TEOS正硅酸乙脂
testalgorithm测试算法
testcoverage测试覆盖
teststructure测试结构
testvector测试向量
thermalbudget热预算
thermaloxide热氧化
thermocompressionbonding热压键合
thermocouple热电偶
thermogravimetricanalysis(TGA)热重量分析
thermosonicbonding热超声键合
thinfilm薄膜
thinsmalloutlinepackage(TSOP)薄小型封装
III-Vcompound三/五族化合物
thoroughadj.十分的,彻底的
Threshold域值
thresholdvoitage域值电压
thresholdvoltageadjustmentimplant调栅注入，域值调整注入
throughput产量
tilt[tilt]v.(使)倾斜,(使)翘起,以言词或文字抨击
titaniumsilicide钛硅化合物
TLV极限域值
topsurfaceimaging上表面图形
topography形貌
torr托
toxic有毒
tracksystem(alsotrack)轨道系统
transientenhanceddiffusion(TED)瞬时增强扩散
transistor晶体管
trench槽
trenchcapacitor槽电容
trichlorosilane(TCSorSiHCL3)三氯氢硅
triodeplanarreactor三真空管平面反应室
triplewell三阱
trivalent三价
tungsten(W)钨
tungstenstchback钨反刻
tungstenhexafluoride(WF6)六氟化钨
tungstenplug钨塞，钨填充
turbomolecularpump(turbopump)涡轮分子泵
twinplanes(twinning)双平面
twin-well(twin-tub)双阱
U
ULSI甚大规模集成电路
ultralowpenetrationair(ULPA)超低穿透空气
ultrafiltration超过滤
ultrafineparticle超细颗粒
ultrahighpurity超高纯度
ultrahighvacuum超高真空
ultrashallowjunction超浅结
ultrashallowjunction超声键合（压焊）
ultraviolet紫外线
undercut钻蚀
uniformity均匀性
unitcell元包，晶胞
unpatternedetching(spripping)无图形刻蚀（剥离）
unpatternedwafer无图形硅片
unplugv.拔去(塞子,插头等),去掉...的障碍物
UV紫外线
V
Vacancy空位
vacuum真空
vacuumwand真空吸片棒，真空镊子
vanderpauwmethod范德堡法
vaporphaseepotaxy(VPE)气相外延
vaporpressure气压
vaporprime气相熏增粘剂，气相成底膜
vaporization气化
variablen.[数]变数,可变物,变量adj.可变的,不定的,易变的,[数]变量的
variableanglespectriscipicellipsometry(VASE)可变角度椭偏仪
variationn.变更,变化,变异,变种,[音]变奏,变调
variousadj.不同的,各种各样的,多方面的,多样的
verticalfurnace立式炉
via通孔
viscousflow粘滞流
VLSI超大规模集成电路
volatilememory挥发性存储器
volatile挥发
voltageregulator温压器
W
wafercassette硅片架
wafercharging硅片充电
waferelectricaltest(WET)硅片电学测试
waferetch硅片刻蚀
waferflatornotch硅片定位边或定位凹槽
waferflatness硅片平整度
wafer-levelreliability(WLR)硅片可靠性
waferslicing硅片划片
wafersortyield硅片分选成品率
wafersort硅片分选
wafertest硅片测试
wafertilt硅片倾斜
wafertowafernon-uniformity(WTWNU)片间不均匀性
wafer-levelpackaging圆片级封装
waferdeionization水去除离子
wavelengthdispersivespectrometer(WDX)波长弥散谱仪
well阱
WET硅片电学测试
wetcleaningstation湿法清洗台
wetetch湿法刻蚀
wetoxidation湿法氧化
wetsink清洗槽
wirebonding引线键合
wiring连线
within-wafernonuniformity(WIWNU)片内不均匀性
X
X-rayX射线
X-rayfluorescence(XRF)X射线荧光性
X-raylithographyX射线光刻
X-rayphotoelectronspectroscopy（XPS）X射线光电能谱仪
Y
Yield成品率
Yieldmanagementsystem成品率管理系统
Z
Zetapotentialzeta电势
zonen.地域,地带,地区,环带,圈vt.环绕,使分成地带vi.分成区