本发明涉及半导体，尤其是涉及工艺配方的管理控制方法、装置及半导体设备。
背景技术：
1、recipe是指半导体设备用来加工晶圆的工艺配方，根据多种工艺设备中的多种recipe相互串联结合，形成工艺流程来实现硅片到芯片的工艺加工。其中，recipe的内容又细分为多个步骤，每个步骤中包含了该步骤的工艺参数。在生产加工中，半导体设备根据工艺参数进行作业，其加工出的产品优劣与产品良率可以通过修改recipe中的工艺参数来提升；且，不同的recipe可以加工不同的产品，因此，如何对recipe进行管理具有重要意义。
2、在实际生产中，半导体设备中fa(factoryautomation，工厂自动化)端设备向上承接工厂端主机host，接收来自host对recipe的操作消息，经过处理后通过上位机将操作消息发送至下位机，以使下位机根据操作消息对所存储的recipe进行修改。其中，recipe遵循semi(semiconductorequipmentandmaterialsinstitute，半导体制程设备安全准则)e42标准存放在下位机端。具体地，semie42标准也称为rms(recipemanagementstandard，配方管理标准)，定义了recipe的管理概念concepts、行为behavior和消息服务messageservices，如recipe的存储、创建、编辑、删除、更新、复制、上传、下载、校验等，从而标准化了recipe在下位机的管理方式。
3、目前，下位机端已按照semie42标准来实现recipe的管理，且，在上位机端提供给用户交互界面来实现对recipe的编辑操作。但是，在与工厂端主机host的交互实现中，虽然fa端设备已实现的semie30标准满足了工厂端对recipe操作的需求，但实际在下位机的recipe管理功能覆盖并不够完善，尚未达到e42标准中所提到的对recipe管理的所有功能，如e42标准中所使用的stream15消息功能不仅包含了现有semie30标准所实现的stream7消息功能，还新增了stream7消息所不包含的功能。因此，如何实现工厂端按照semie42标准的方式来管理recipe是亟需解决的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本发明的目的在于提供工艺配方的管理控制方法、装置及半导体设备，以缓解上述问题，实现了工厂端按照semie42标准的方式来管理recipe，提高了工厂自动化程度和产能。
2、第一方面，本发明实施例提供了一种工艺配方的管理控制方法，应用于存储有工厂自动化fa的fa端设备；其中，fa端设备中设置有e42标准的消息服务messageservices；该方法包括：获取工厂端主机发送的管理消息，并对管理消息进行解析，得到操作信息和标识信息；通过messageservices将操作信息经上位机转发至下位机，以使下位机根据操作信息对存储的工艺配方recipe进行操作处理，并将得到的第一操作结果信息发送至上位机；获取上位机发送的第一操作结果信息，并将第一操作结果信息发送至工厂端主机，以实现工厂端主机对recipe的管理。
3、优选地，上述messageservices包括命名空间管理服务e42rmnamespcemanager、配方执行器管理服务e42rmexecutormanager和对象管理服务e42ossmanager；通过messageservices将操作信息经上位机转发至下位机的步骤，包括：根据标识信息确定目标messageservices，并通过目标messageservices将操作信息经上位机转发至下位机。
4、优选地，根据标识信息确定目标messageservices的步骤，包括：如果标识信息为rmn，确定目标messageservices为e42rmnamespcemanager；或者，如果标识信息为rme，确定目标messageservices为e42rmexecutormanager；或者，如果标识信息为oss，确定目标messageservices为e42ossmanager。
5、优选地，对管理消息进行解析，得到操作信息和标识信息的步骤之后，该方法还包括：生成用于向工厂端主机反馈结果的回复模板信息，并设置回复模板信息中的可变参数字段为输出参数，以根据输出参数生成对应的回复信息。
6、优选地，将第一操作结果信息发送至工厂端主机的步骤之前，该方法还包括：将第一操作结果信息的参数格式转化为回复模板信息中输出参数的参数格式，得到第一操作结果信息和回复模板信息组合后的第二操作结果信息；以及，将第二操作结果信息发送至工厂端主机。
7、优选地，该方法还包括：获取上位机发送的通知消息参数，并生成通知模板信息；其中，通知消息参数用于表征下位机根据操作信息对recipe进行操作处理完成的信息；将通知消息参数中的参数格式转化为通知模板信息中输出参数的参数格式，以生成通知消息参数和通知模板信息组合后的通知信息；以及，将通知信息发送至工厂端主机。
8、优选地，fa端设备还包括远程服务；其中，远程服务包括e42标准接口服务：通过messageservices将操作信息经上位机转发至下位机的步骤，包括：通过messageservices将操作信息经e42标准接口服务发送至上位机，以使上位机将操作信息转发至下位机；获取上位机发送的第一操作结果信息的步骤，包括：通过e42标准接口服务获取上位机发送的第一操作结果信息。
9、第二方面，本发明实施例还提供一种工艺配方的管理控制装置，应用于存储有工厂自动化fa的fa端设备；其中，fa端设备中设置有e42标准的消息服务messageservices；该装置包括：消息获取模块，用于获取工厂端主机发送的管理消息，并对管理消息进行解析，得到操作信息和标识信息；信息发送模块，用于通过messageservices将操作信息经上位机转发至下位机，以使下位机根据操作信息对存储的工艺配方recipe进行操作处理，并将得到的第一操作结果信息发送至上位机；信息转发模块，用于获取上位机发送的第一操作结果信息，并将第一操作结果信息发送至工厂端主机，以实现工厂端主机对recipe的管理。
10、第三方面，本发明实施例还提供一种半导体设备，包括存储有工厂自动化fa的fa端设备、上位机和下位机，fa端设备执行计算机程序时实现上述第一方面的方法的步骤。
11、第四方面，本发明实施例还提供一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质上存储有计算机程序，计算机程序被处理器运行时执行上述第一方面的方法的步骤。
12、本发明实施例带来了以下有益效果：
13、本发明实施例提供了工艺配方的管理控制方法、装置及半导体设备，首先，fa端设备获取工厂端主机发送的管理消息，并对管理消息进行解析，得到操作信息和标识信息；然后，fa端设备通过messageservices将操作信息经上位机转发至下位机，以使下位机根据操作信息对recipe进行操作处理，并将第一操作结果信息发送至上位机；最后，fa端设备获取上位机发送的第一操作结果信息，并将第一操作结果信息发送至工厂端主机，以实现工厂端主机对recipe的管理。上述控制方式中，通过在fa端设备中新增e42标准的消息服务messageservices，实现了工厂端按照semie42标准的方式来管理recipe，提高了工厂自动化程度和产能；同时，避免了人为在设置界面对recipe的误操作，提升了产品良率。
14、本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
15、为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。