内容概况：真空镀膜设备行业作为高端制造的基石，随着半导体、新能源、电子元器件等产业崛起，将迎来快速发展机遇。数据统计，中国真空镀膜设备行业从2017年的256.22亿元增加到2023年的558.39亿元，年均复合增长率超过13%。未来，随着技术的不断进步和应用领域的不断扩大，中国真空镀膜设备行业的市场规模将继续保持高速增长。
关键词：真空镀膜设备、PVD镀膜设备、CVD镀膜设备、磁控溅射设备
一、真空镀膜设备行业概述
真空镀膜设备是一种利用真空蒸发技术、溅射技术等方法，在物体表面形成薄膜的装置。真空镀膜设备通常由真空室、加热元件、蒸发源、抛物面反射镜、样品架等部分组成。通过控制真空室中的气体成分、温度、电压等参数，可以使样品表面被均匀地涂上薄膜，并且可以实现高精度、高效率的镀膜过程。真空镀膜设备广泛应用于光学、电子、材料等领域，是制造高性能电子产品、光学器件、装饰材料等方面不可或缺的重要工具。
根据反应原理不同，真空镀膜设备大致可分为PVD（物理气相沉积）、CVD（化学气相沉积）、ALD（原子层沉积）。虽然，真空镀膜设备在不同应用场景下呈现高度定制性，但总体而言，大致可分为真空形成系统、发射源与沉积系统、沉积环境控制系统、监控系统以及传动系统五大部分。
二、真空镀膜设备行业政策
近年来，在国家高度重视前沿新材料应用及淘汰落后产能的背景下，国务院、国家发改委及工信部等主管部门陆续出台了一系列政策文件，大力支持真空镀膜设备行业的发展。2022年1月，甘肃省人民政府印发《甘肃省“十四五”制造业发展规划》，提出要发展高性能真空获得设备、高端数控真空镀膜设备、大型智能化真空炉设备，以及生物医药、食品卫生、航空航天、核工业材料等真空专用装备，打造国内真空装备制造基地。2024年1月，山东省科学技术厅印发《关于推进钙钛矿太阳能电池产业发展的实施方案》，提出要聚焦钙钛矿太阳能电池制备用镀膜设备、涂布设备、激光设备、封装设备、检测设备等装备国产化替代，鼓励设备制造单位和电池制备单位开展协同攻关及应用示范，力争在原子层沉积设备、激光刻蚀机、高精度荧光视觉检测设备等关键设备实现突破和替代，增强上下游协同适配能力，提升钙钛矿太阳能电池产业链供应链韧性。未来中国真空镀膜设备在政策利好的背景下，行业发展前景广阔。
三、真空镀膜设备行业产业链
真空镀膜设备上游主要为原材料及零部件，包括真空室、加热元件、蒸发源、抛物面反射镜、样品架等。产业链中游为真空镀膜设备的制造。产业链下游为应用领域，包括消费电子、集成电路、电子元器件等。
随着近年来我国居民消费水平的不断提升，对消费电子产品的需求量也不断增加，加上互联网技术的不断发展，5G、物联网、人工智能、虚拟现实等技术与消费电子产品的融合，促进了消费电子产品的更新换代，进一步促进了我国消费电子行业的发展。数据显示，2023年我国消费电子行业市场规模达19201亿元，同比增长2.96%。
四、真空镀膜设备行业发展现状
在全球范围内，由于真空抽气系统的发明，真空镀膜设备产业步入了真正意义上的发展，20世纪上半叶主要是真空镀膜设备制造初步发展阶段，该阶段真空镀膜设备制造及其镀膜工艺相对简单，以功能实现为目的，真空镀膜技术及设备以蒸发镀膜为主，溅射镀膜和离子镀膜技术尚未量产应用，产业未形成规模化体系。20世纪后半段至今，真空镀膜设备制造获得了迅速发展，一是真空镀膜技术的不断补充和完善，溅射镀膜技术以及离子镀膜技术全面应用于真空镀膜，二是随着半导体、微电子等产业的起步和发展，真空镀膜被提升至产业化发展高度，其次是伴随着应用材料、日本光驰、德国莱宝等公司逐步发展壮大，真空镀膜技术应用被充分市场化，引领行业持续迅速发展。
真空镀膜设备行业作为高端制造的基石，随着半导体、新能源、电子元器件等产业崛起，将迎来快速发展机遇。数据统计，中国真空镀膜设备行业从2017年的256.22亿元增加到2023年的558.39亿元，年均复合增长率超过13%。未来，随着技术的不断进步和应用领域的不断扩大，中国真空镀膜设备行业的市场规模将继续保持高速增长。
当前我国真空镀膜设备产业细分格局为包含了PVD镀膜设备、CVD镀膜设备、磁控溅射设备以及其他种类的真空镀膜设备这四大类别，而在这个分类体系中，备受瞩目的PVD镀膜设备占据了市场份额的首要位置。
五、真空镀膜设备行业企业格局和重点企业分析
1、企业格局
2、重点企业
深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司是一家国内领先的从事太阳能电池设备研发、生产和销售的国家级高新技术企业。主要产品包括湿法设备系列、真空设备系列、智能制造设备系列、光伏电池设备及工艺解决方案等。湿法设备主要产品包括单晶槽式制绒设备、槽式碱抛光清洗设备、槽式RCA清洗设备、链式去BSG/PSG清洗设备、HJT清洗制绒设备、全自动制绒Plus清洗设备等。湿法设备主要用于晶体硅电池片生产过程中对硅片进行绒面腐蚀、抛光刻蚀、去绕镀以及清洗处理。公司的湿法设备在行业中处于领先地位，广泛应用于光伏电池片各技术路线以及半导体领域。真空设备主要产品包括各类管式PECVD设备，板式PECVD、RPD、PVD、PAR设备等。管式设备主要用于晶体硅电池片生产过程中扩散掺杂、氧化退火、薄膜沉积等工艺处理。板式设备主要用于HJT晶体硅电池本征及掺杂非晶硅薄膜、透明导电膜的制备，钙钛矿电池透明导电膜及导电层的制备。真空设备为各电池技术路线上的核心工艺设备。数据显示，2023年捷佳伟创工艺设备营收同比增长42.26%至70.62亿元；自动化配套设备营收同比增长96.03%至11.37亿元。
吉林奥来德光电材料股份有限公司主要从事OLED产业链上游环节中的有机发光材料的终端材料与蒸发源设备的研发、制造、销售及售后技术服务，其中有机发光材料为OLED面板制造的核心材料，蒸发源为OLED面板制造的关键设备蒸镀机的核心组件。近年来，得益于深厚的技术积累，公司积极把握行业发展趋势，敏锐捕捉客户需求，在原有业务基础上，围绕上游核心材料领域的“卡脖子”产品封装材料、PSPI材料等产品上进行战略性布局，已实现产线供货；在设备领域，公司基于底层核心技术，稳步推进硅基OLED用蒸镀机、钙钛矿蒸镀机等高附加值产品，为公司打造新的业绩增长动能。数据显示，2023年奥来德蒸发源设备营收为1.99亿元。
六、真空镀膜设备行业发展趋势
1、产能结构有望调整
我国真空镀膜设备行业发展较为成熟，真空镀膜技术创新能力不断增强，产品类型不断丰富，但低档真空镀膜设备产能过剩，高档真空镀膜设备产品供给不足，大多依赖进口，整体真空镀膜设备行业的产品结构有待调整。
2、产品将实现自动化、智能化、环保化
未来，随着计算机技术、微电子技术与真空镀膜技术的结合应用，真空镀膜设备的产品性能将进一步提升，尤其是精确性、高效性、稳定性等综合控制性能将显著改善。同时，高新技术的应用将推动真空镀膜设备向自动化、智能化、环保化方向发展。
3、产品精确性、稳定性等逐渐提高
从真空镀膜工艺应用来看，真空镀膜可用于信息记录和存储介质，也可用于传感器、光学仪器中，在集成电路制造、装饰品、显示器、玻璃镀膜等领域也可大量使用。随着工业不断发展进步，对工业产品制作材料的性能要求不断提高，相应的镀膜产品的精确性、稳定性等要求也逐渐提高。
4、应用领域持续拓展
真空镀膜技术的应用领域正不断拓宽。除了传统的五金、塑胶、建筑应用等装饰膜产业外，真空镀膜技术还在光学光电子元器件、集成电路、太阳能光伏、新能源动力电池、医疗器械等功能膜战略新兴产业中得到广泛应用。随着科技的不断进步和市场的不断扩大，真空镀膜技术的应用领域还将继续拓展和深化，为真空镀膜设备行业发展提供新的增长点。
《2025-2031年中国真空镀膜设备行业市场运行态势及发展前景研究报告》共十章，包含中国真空镀膜设备行业重点企业分析，2025-2031年中国真空镀膜设备的发展前景及趋势，中国真空镀膜设备行业投资机会与风险分析等内容。
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