就SEM产品来说,最大亮点是Phenom发布的台式FE-SEM。这款产品的发布表明:小型台式电镜已经彻底摆脱钨丝灯电子枪所带来的性能限制,同时也能为需要高分辨电镜但缺少资金或场地的实验室提供新的选择。虽然台式电镜的参数永远不能媲美大型电镜,但性能和参数的提升,和依旧吸引人的价位,可使电镜应用得更加普及,不仅使更多实验室用户可以直接使用电镜,而且有望将这些用户的相当一部分最终变成大型电镜的用户。台式电镜在近年来推动电镜增长中功不可没。
国产SEM的一大突破是:将能谱集成到台式电镜中,并且其最大分辨率已经不弱于国外产品,但遗憾的是,迄今为止尚没有造出场发射电子枪的产品。
在FIB-SEM领域,最值得被记住的是TESCAN,2018年TESCAN一家就发布了三款产品,再度强化了TESCAN在FIB领域的强势地位。
TEM新品由日本电子发布的高通量TEM(JEM-ACE200F)产品担当。稍显遗憾的是,赛默飞/FEI2018年未推出新产品。
对于电镜附件产品来说,深圳速普发布的5款产品为电镜制样行业提供了新的选择,但我们也需要看到,国产设备与国外高端产品之间的差异,尤其是冷冻电镜的制样和样品传送产品,目前罕有国内厂商生产。
【名词对照】
FE:场发射
SEM:扫描电镜
TEM:透射电镜
FIB:聚焦离子束
品牌
类别
型号
产品特点
性能参数
日立
FE-SEM
分辨率:0.8nm@15kV,0.9nm@1kV
放大倍率:20~2,000,000x
电子枪:ZrO/W肖基特场发射
TESCAN
第四代产品,全新设计,惊艳现世
分辨率:0.7nm@15kV,1.4nm@1kV(SE模式);0.6nm@30kV(STEM模式)
电子枪:肖基特场发射
Phenom
全球首款台式场发射(FEG)扫描电镜能谱一体机
分辨率:2.5nm@10kV,
放大倍率:200~5000,000x
善时
SEM
体积虽小,五脏俱全
2017年
分辨率:5nm@30kV,
放大倍率:30~150,000x
电子枪:钨丝灯
EMCRAFTS驰奔
全数字化控制,媲美专业级电镜成像
2018年4月
分辨率:5nm@30kV(SE模式),8nm@30kV(BSE模式)
放大倍率:20~300,000x
FIB-SEM
分辨率:0.9nm@15kV,1.7nm@1kV(SE模式);0.9nm@30kV(STEM模式)
离子源:Xe等离子FIB
离子束能量:3keV至30keV
探针电流:1pA至2μA/1pA至1μA
离子源:Ga液态金属离子源
离子束能量:0.5keV至30keV
探针电流:<1pA至100nA
日本电子
TEM
高通量、自动化设计,助力半导体工业
分辨率:点图像0.21nm,晶格图像0.10nm(TEM模式);STEMDF图像0.136nm,STEMBF图像0.136nm(STEM模式)
电子枪:ZrO/W(100)肖基特场发射
牛津
EBSD
采集速度:400pps
全分辨率:1244x1024pixel
采集速度:1000pps
分辨率:622x512pixel(250pps)
GATAN
冷冻传输样品杆
全新冷冻传输样品杆,升级高分辨冷冻电镜和三维重构体验
漂移率:<1.5nm/min
成像分辨率:<2.3
EMSIS
CMOS
高速2000万像素相机,树立行业标杆
分辨率:5120x3840Pixel
帧率:>30fps
速普
离子溅射仪
样品杆储存站,无油,即插即用
样品杆储存
SEM等离子清洗
高效、快速,原位清洗,即插即用
日立SU7000
TESCANS9000
2018年11月,TESCAN发布了S9000超高分辨型场发射扫描电镜。S9000超高分辨型FE-SEM配备Triglav电子镜筒,具有优化的透镜内探测器系统和高性能电子信号过滤和收集能力。采用Triglav电子镜筒时,S9000可在15kV时获得0.7nm分辨率,同时也可自由搭配SE或BSE探测器,实现多种不同组合,获得全面数据。
PhenomLE
2018年7月,Phenom推出了全球首款台式场发射扫描电镜PhenomLE。无需装修改造实验室,无需安装防震台和磁屏蔽,只需一张承重200kg的桌子,一台分辨率优于2.5nm@15kV,放大倍数为500,000x的PhenomLE即可投入使用。PhenomLE采用肖特基场发射电子枪,集背散射电子成像,二次电子成像和能谱分析于一体,高效,操作简单、易安装。可根据使用者需求定制个性化软件,帮助使用者自动完成样品图像的拍摄、分析。
善时SS-150
2018年,善时正式推出SS-150台式扫描电镜。SS-150放大倍率高达150,000X,拥有5nm分辨率(30kV),可同时配备SE、BSE探测器以及EDS能谱。SS-150操作简单,易于维护,自动平台采用中心定位模式,迅速定位待测样品。
驰奔Cube-200
2018年初,驰奔推出Cube-200型桌面台式扫描电镜。Cube-200配有三级电磁透镜和四孔径物镜光阑,拥有大变焦范围和长工作距离;可同时配备SE、BSE探测器以及EDS能谱。同时,Cube-200操作简单,易于维护。
TESCANS8000X,S9000G/X
XeFIB-SEMS9000X
GaFIB-SEMS9000G
XeFIB-SEMS8000X
2018年8月和11月,TESCAN重磅发布了最新一代的氙离子源双束FIB系统S9000X/S8000X和镓离子源双束FIB系统S9000G。此次发布的S9000X/GFIB系统具有极高的精度和极高的效率。其配备的最新一代Triglav超高分辨电子镜筒具有极佳分辨率,优化的镜筒内探测器系统在低束流能量下具有更加优异的性能。另一方面,新的iFIB+离子镜筒进一步扩大了Xe、Ga等离子在FIB-SEM的应用领域。由于其具有1mm超大视场范围,可实现极大面积的截面加工。此外,S9000X/G采用新一代的FIB镜筒具有30个光阑,可延长使用寿命,并最大限度地减少维护成本。
同时发布的S8000X是当前市场上功能最多、最为通用的Xe等离子体FIB-SEM系统。S8000X可实现大批量样品表征和无Ga样品制备和修饰。通过配备BrightBeamSEM与新型iFIB+Xe等离子源实现无场UHR以及提供强大而精确的研磨功能,最终使S8000X成为平面去层、低电压表征的理想平台。
日本电子JEM-ACE200F
2018年12月,日本电子发布全新JEM-ACE200F高通量分析电子显微镜。JEM-ACE200F可通过创建无需操作人员看管实际操作工作流程系统实现样品自动检测和数据自动生成,由于集成了JEM-ARM200F和JEM-F200技术,因此JEM-ACE200F在性能和稳定性方面表现优异。JEM-ACE200F在TEM模式(200kV)时可获得0.10nm分辨率,在STEM模式(200kV)可获得0.136nm分辨率。
牛津C-Nano,C-Swift
C-NanoEBSD
C-SwiftEBSD
C-NANO是一款性能杰出的高分辨型CMOSEBSD,它的采集速度高达400点/秒,同时花样分辨率达到312x256像素分辨率。在1244x1024像素的全分辨率条件下,最快采集速度能达到80点/秒。C-NANO探测器具有非接触式碰撞探测,能在碰撞发生之前报警规避,避免设备遭到意外损坏。C-NANO可以用于所有的EBSD应用,尤其适合分析复杂的矿物和氧化物、变形态的金属和合金、纳米材料、复杂的相结构分析、TKD实验,以及采集高分辨EBSD花样。
C-SwiftEBSD是一款基于CMOS技术的高速型EBSD探测器。C-Swift最快的采集速度能达到1000点/秒,同时花样能达到156x128像素的分辨率,在全分辨率的622x512像素条件下,最快采集速度能达到250点/秒。C-Swift可以用于所有的EBSD应用,尤其适合分析常规金属和合金、常规矿物和氧化物、变形态的金属和合金、TKD实验、晶界工程研究、原位应用、3D-EBSD应用等。
GATANElsa
速普THS05
速普发布的透射样品杆储存站THS05,采用无油隔膜泵涉及,能够产生洁净的100Pa量级的真空空间,特别适用于TEM透射电镜样品杆的日常真空储存和去除水汽。采用触摸屏控制,即插即用。
EMSISXarosaB20T
EMSIS推出基于CMOS基底的XAROSAB20T,并以其2000万像素和提供超过每秒30帧的扫描速度树立了行业新标杆。XAROSA利用最新的Thunderbolt接口将高质量图像传输到工作站,使用像素合并功能还可以达到更高的传输速度。此外,成熟的棱台形光纤技术实现了像素尺寸、光纤和闪烁体之间的完美匹配,可提供非常高的光子灵敏度和宽广的视野。
速普Combo100,ISC150/Pro
Combo100
ISC150
ISC150Pro
Combo100是速普推出的桌面级SEM多功能离子溅射仪,特别适用于FE-SEM高分辨扫描电镜及FIB-SEM聚焦离子束扫描电镜样品的喷金以及样品等离子体清洗等多种用途。其采用的分子泵可实现在mTorr气压下磁控溅射喷金,同时具备远程RF射频离子源实现样品清洗。
ISC150是速普推出的专用离子溅射仪高性能旋片泵产生<1-2Pa的真空压强,。通过恒功率磁控溅射电源,保证恒定镀膜沉积速率。磁控阴极的使用也有效减少等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤。
ISC150PRO在ISC150基础上,采用无油隔膜泵和分子泵组产生10-3Pa的真空压强,从而拥有更佳镀膜质量,因此更适合用于高分辨率场发射FE-SEM样品的喷金、铂等以及其他金属镀膜。
速普RPS50
速普推出的RPS50是适用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物清洗的电镜清洗仪。其采用远程ICP射频离子源清洗,高效、低等离子体轰击损伤,同时标配一路清洗气体流量控制器。