唐代武则天万岁通天年间(696-697年)，佛教华严宗高僧华严和尚居住在幽州城北，“持《华严经》以为净业”，“其所诵时，一城皆闻之，如在庭庑之下”。在幽州都督张仁愿的赞助下，华严和尚来到了潭柘山开山建寺，购买了嘉福寺附近西坡姜家和东沟刘家的土地，以破败了的嘉福寺为中心，重建寺庙。华严和尚带领僧众填平了寺内一个叫“青龙潭”的大水坑，修筑殿宇，扩建寺院，开拓出了潭柘寺的雏形。寺院后山有两股丰盛的泉水，一眼名为龙泉，一眼名为泓泉，两股泉水在后山的龙潭合流后，流经寺院，向南流去，不仅满足了寺院日常的生活用水，而且还可能灌溉附近大片的土地农田，正是因为有了这股宝贵的泉水，此后附近才出现了平原、南辛房、鲁家滩等村庄。故而华严和尚将嘉福寺改为“龙泉寺”。潭柘寺有了一定的规模，并在幽州地区有了名气，逐步地发展、兴盛了起来，所以后人尊华严和尚为潭柘寺的“开山祖师”。华严和尚也因此而名列《续高僧传》。
从实禅师
后唐时期(924——936)，最著名的僧人便是从实禅师，他弘法于幽州城内的大万寿寺以及潭柘寺。据寺内明正德六年(1511)谢迁《重修嘉福寺碑记》：“潭柘山者距城西二舍许，当马鞍山之西，有泉汇而为梯潭，土宜柘木因以得名。后唐时有从实禅师与其徒千人讲法于此，后遂示寂华严祖堂……。”
广慧通理禅师
临济宗大师广慧通理禅师开性是金代禅学的代表人物。开性是现今北京怀柔县人，9岁时在潭柘寺出家，拜戒振禅师傅为师，学习禅宗中临济宗佛学。后来云游辽东和齐鲁等地，遍访名山古刹，向各地高僧学习佛法，归来后在马鞍山竹林寺弘扬禅学。大定初年，潭柘寺的善海禅师带领僧众来到竹林寺，恭请开性回潭柘地任住持。开性任住持期间，在朝廷的资助下，对潭柘寺进行了长达11年的大规模整修和扩建，使潭柘寺的殿宇堂舍焕然一新。开性还整顿了寺院的僧务，制定了《寺中规条》，作为寺内僧众的生活规范。开性在寺内弘扬佛法，并著有《语录》3篇，使潭柘寺的禅学从此中兴，开性也成了金中都地区公认的禅宗临济宗的领袖，使潭柘寺成为了临济宗的中心寺院。开性终老于寺中，圆寂后被佛门尊为“广慧通理”禅师。开性的弟子善照、了奇、圆通、广温、觉本等人，后来也都成为了临济宗的名僧。
政言禅师
政言禅师是广慧通理禅师的高徒，河南许昌人，自幼在乡里出家为僧，后来来到中都，在马鞍山竹林寺向广慧通理禅师学习临济宗佛法，深得真传，学有所成。广慧通理禅师在潭柘寺圆寂后，政言禅师继任后，“开法席，讲禅学”，弘扬临济宗佛学，并著有《禅说金刚歌》、《金台录》、《真心真说修行十法门》等著作，“皆行于世”。
相了禅师
相了禅师是金代又一位著名的临济宗大师辽宁省义县人，自幼出家，钻研禅学，造诣很深，明昌年间，应岐国大长公主之请，出任潭柘寺住持，使潭柘寺“宗风大振”。在此期间，相了禅师还对寺院进行了大规模的整修和扩建。后来相了禅师又先后担任过天王寺、竹林寺等名刹巨寺的住持，在中都地区有着很高的声望，被公认为是当时临济宗的代表人物，后归老于潭柘寺。
无初德始禅师
底哇答思大师
底哇答思大师是明代初期潭柘寺的另一位著名的外国僧人。底哇答思是东印度人，8岁出家为尼。明代洪武初年，随其师板的达到中国游历。明太祖朱元璋在南京奉天门召见了底哇答思，并亲赐其度牒，让底哇答思在南京“随方说法”，进出皇宫内苑，为后妃们讲经说法。1428年，底哇答思来到了北京，1435年到了潭柘寺。她认为这里就是她所理想的“西天佛国”遂在寺院西侧建造了一座庵堂，作为自己的终老之所。底哇答思大师还出资重新油饰了潭柘寺的大雄宝殿，并经常用自己的资财，救济附近的贫苦百姓，从而受到了寺僧和附近百姓们的尊敬。正统三年三月初一，90岁的底哇答思大师在潭柘寺圆寂，佛门尊其为“政禅师”，其墓塔建在寺前的下塔院内。
道源禅师
道源禅师是西印度人，在本土出家，精通戒律，学有所成。在北京地区佛门颇有名气。正统年间，奉英宗皇帝之命，在寺内修建了一座戒坛，开坛传戒，明英宗钦命道源禅师为传戒宗师，潭柘寺住持，成为漂柘寺广善戒坛的开山祖师，后圆寂寺内，其墓塔也在寺前的下塔院内。天顺二年，复僻后的英宗皇帝派礼部郎中李和前去祭拜道源禅师墓塔，并刻立“谕祭碑”，以示纪念。
达观真可大师
达观真可大师是“明代四大高僧”之一。达观真可大师俗姓沈，名真可，字达观，晚年号紫柏，江苏吴江人，出家于苏州的云岩寺。万历年间(1573年)，达观北游京城，拜遍融、笑岩等佛学大师为师，深得真传，学有所成后，出游全国的名山大川。达观大师主要师从于临济宗第28代传人笑岩大师，但他并不拘泥于一家之说，而是对佛教的各宗派采取了兼融并重的态度，广蓄博收，从而使他的学识十分渊博。在云游天下途中，达观在各大名寺遍览经书，万历十七年，达观大师开始在山西五台山的呈兴寺整理以前的经卷时发现大多是汉文中夹杂着梵文，很不便于阅读，因而决定自己创造出一种《方册大藏经》。这项巨大的工程后来完成于浙江省余杭县的径山，因而又称为《径山藏》。达观大师在佛教界有着极高的声誉，后人将达观与莲池、藕益、憨山合称为“明代四大名僧”。
万历二十三年，达观大师奉神宗皇帝朱翊钧之命，任潭柘寺的钦命住持。在此期间，由万历皇帝的母亲慈圣宣文明肃皇太后出资，在达观大师的主持下，对潭柘寺进行了大规模的整修。达观大师与朝廷密切，经常奉诏进宫为皇室讲经说法，从而进一步加深了潭柘寺与朝廷的联系。达观在潭柘寺除了讲经说法，整饬佛规外，还在寺内建造了“一音堂静室”，作为自己的静修之所。达观文思敏捷，才华横溢，写下了不少赞咏潭柘寺诗文，其中著名的有《妙严公主拜砖赞》、《送龙子归龙潭文》、《潭柘怀缪中淳》、《日暮龙潭即目》、《再游潭柘寺》、《题别潭柘》等，皆流传于世。万历三十一年，京中发生了“妖书大案”，达观大师受到了牵连而被捕入狱。他因曾反对宦官征矿税，而引起了太监们的忌恨，在狱中，达观大师惨遭刑杖，于万历三十二年，惨死于狱中。达观大师一生著述甚多，他曾经续写了《高僧传》、著有《续灯录》、《紫柏尊者全集》30卷等，流传于后世。
震寰律师
震寰律师是清代潭柘寺钦命重开山第一代住持。震寰律师字震寰、名照福，孟姓，大兴县人，生于明万历七年(1634)。初依延禧寺名驰剃染，受具戒于广济寺万钟律师，精进潜修，足不踰阃者十有五年，究求律学，跻辈钦止争师事之。万钟寂后，寺众同词请师继席。誉望日高，徒学益众。康熙二十五年春，奉康熙皇帝之命住持潭柘岫云寺，自是法侣景从，云合雾集，檀越辅辏，不可亿算。主持创建毘卢阁、三圣殿、斋堂、重修大雄殿、圆通殿、药师殿、迦蓝殿、祖师殿、钟鼓楼、山门牌楼等工程。光大法门，弘扬律仪门风，潭柘一时轮奂，崖壑交辉，为西山诸刹之冠。师深受康熙帝契重，曾三次临幸潭柘。并作诗赞震寰：“法像俨然参涅盤，皆因大梦住山间，若非明镜当台语，笑指真圆并戒坛。”师逝于康熙三十八年(1699)，寿六十六，法腊三十二。
止安超越律师
清代钦命潭柘寺第二代止安超越律师，名超越，大兴县人，王姓。康熙十四年(1675)于戒台寺道光和尚座下圆具，二十五年(1676)任潭柘寺监院。动静尊严，德性坚定，日有恒课，不牵外缘，入夜焚香趺坐净修，自摄其心，康熙三十三年(1694)大殿毁于火，赐帑重修，将建时有一柱初欲置左，众欲右之，抬不能升。师祝之曰：我右汝也。不数人抬之以去。住持震寰见其诚感木石，知有自来。康熙帝游幸时奏对从容，帝称其品度比之仙露明珠，为之嘉赏。康熙三十八年(1699)震寰示寂，奉旨继主法席。明年与诸山长老赴畅春园，将觐见颜，适虎圈有虎怒，吼威狞狞，众莫敢近。师突前曰：汝由性暴故坠虎身，今犹不改，性必终迷。汝伏，吾为汝说三皈，可得解脱耳。虎遂驯服，说毕帖然曳尾而去。生平奇迹此类甚多，恐涉怪诞，令门徒不以语人。师总摄寺务不辞辛苦，监造东西厢房，两角门，建震寰和尚塔。康熙四十一年夏(1702)疾逝，寿六十一，腊二十七。
林德彰律师
清代钦命第三任住持林德彰律师名道林、字德彰，河间人。少依龙坡寺乾宗为师，后于广济寺道光和尚座下圆具。康熙四十一年(1702)钦命主持潭柘法席，为第三代住持。在寺领众，持诵参礼倾刻无间，常领众绕寺内舍利塔念佛不辍。经年塔忽放光，后每岁常如此。远近见闻无不归心。师住持潭柘二十余年，兴造最多，监造观音殿、文殊殿、祖师堂、龙王殿、大悲殿、孔雀殿、地藏殿、少师静室，建止安和尚塔及下院奉福寺塔。林德彰律师逝于康熙六十一年(1722)。寿六十一，发腊三十九。
恒实源谅律师
恒实源谅律师是河北省东光县人，最初拜潭柘寺的德彰道林律师为师，学习律学，雍正九年回归故里，后又到北京，赴潭柘寺参加龙华大会，并担任了引礼一职。此后恒实律师长住寺中，历任教受、羯摩等职，于乾隆六年任潭柘寺住持。在此期间，恒实律师在潭柘寺多次举办大法会，在佛教界有着很高的声望。清代帝后对恒实律师特加荣宠，乾隆皇帝曾赐给他一尊金护身佛，为了迎接这尊御赐的赤金护身佛，潭柘寺黄土铺道20里。恒实源谅律师著有《律宗灯谱》，记述律宗高僧的行实，流传于世。
静观圆瑞律师
静观圆瑞律师是山东省历城县人，“受具于潭柘洞主座下，即依止学律，历三寒暑”，学有所成，其后遍游京中名寺，于雍正年间入选“藏经馆”，整理《大藏经》，后来回到潭柘寺，历任引礼、尊证、教授、阇黎等职。恒实律师圆寂之后，静观继任潭柘寺住持，“以故潭柘道法之盛，春、冬戒期下，衲子景从之众，信施资助之殷，诚诸方所罕觏者也”，使潭柘道场之佛教活动有了进一步的发展。
了然行修律师
了然行律师顺天府宛平县籍，雍正五年(1727)生人。弱冠即厌尘俗，决志出家。父母为纳采，遂遁山林隐匿，寻从弥陀禅院超尘师剃染。乾隆十三年(1748)腊月八日圆具戒于潭柘山恒实和尚座下，遂于本山学律，调炼身心，遵循规矩于五分法身、无作妙色，冀有所自而生焉。
寻擢引礼、知客，从无愆忘，众皆刮目。复由监院、尊证而任教授、羯磨，已桑榆暮景矣，所谓大器晚成之非歟。及静公示寂，众心共戴，请践法席，不得已俯从众望，肩荷重担。尝曰：赵州八十行脚，犹能眼炼大千，吾今坐食现成，独不能毅然而率众乎。由是淬砺精神，凡所应作以身先之，大众莫不感奋。讵意仅历寒暑而法幢将倾，一日忽觉幻体沉重，知时已至。遂唤侍者沐浴更衣端坐，遗嘱谆谆、以未传戒法为愧。大众对以即时开戒以偿师愿，遂合掌念佛瞑目而去。享世八十有余。师在潭柘达六十年之久。
纯悦觉正和尚
纯悦觉正和尚名觉正，字纯悦，清同治十年(1871)生，系山东平度县人。依本县弥勒庵本立师祝发，于光绪十八年(1892)春依岫云寺(潭柘寺)慧宽和尚圆具。宣统三年(1911)秋冬之交，岫云寺清代第十八代住持觉海慧宽和尚因示微疾，传法席于觉正。
师以字纯悦为世熟知。在民国早期北京地区佛教界享有盛名，主持潭柘寺务期间多次开坛传戒度僧。并在民国早期参与拈花寺开坛传戒事宜。
据民国二十年(1932)冬季《拈花寺戒录》：得戒本师老和尚普志全朗，为拈花寺德明和尚法嗣；代传本师大和尚实淮量源，为戒台寺达文和尚法嗣；羯磨阿阇黎师觉平宽广，为拈花寺德明和尚法嗣；教授阿阇黎师量濶月潭，为潭柘寺觉正纯悦和尚法嗣；首座大师即觉
正纯悦和尚担任，他是觉海慧宽的法嗣；堂主大师昌鉴越尘，觉省普福，大山体仁等三人；监寺大师源智慧明，亦是觉正纯悦和尚的弟子；知客大师印如玉峰，是光绪十九年(1893)在岫云寺慧宽和尚座下圆具的得法弟子；另外优婆塞引礼师昆章觉妙，是戒台寺达文和尚的得法弟子。民国期间传戒的寺院，在北京以拈花寺、潭柘寺、戒台寺为主，还有广济寺、万寿寺、柏林寺、香界寺等。
纯悦和尚大约圆寂于民国二十四年(1935)。
茂林和尚
茂林，名丛悟。清光绪十四年正月初一子时(1888)生，遵化县人，幼依关帝庙洪纯师祝发。于光绪二十八年十二月初八日(已是公历1903年)，依岫云寺(潭柘寺)和尚慧宽座下圆具。于民国中后期为潭柘寺的住持，与国民党日伪当局都有来往。解放前后一直在寺内主持寺务。文革初起时，北京僧人、尼姑、道士、修女、神甫都集中到北京市佛协所在地，什刹海的广化寺内，茂林也移居广化寺。1968年逝于广化寺。
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