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硅烷
电子级CL2
电子级HCL
一、产品介绍
硅烷在常温常压下为无色、有毒、非常活跃的压缩气体。在室温下着火，在空气或卤素气体中发生爆炸
性燃烧。即使用其它气体稀释，如果浓度不够低．仍能自燃。硅烷在氩气中含2%、氮气中含2.5%、氢气中含
1%时，它仍能着火。硅烷浓度在小于1%时不燃，大于3%时自燃，1%～3%时可能燃烧。硅烷是强还原剂，与重
金属卤化物激烈反应，与氯、溴发生爆炸性反应，与四氯化碳激烈反应。因此对硅烷不能使用氟里昂灭火剂。
硅烷不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿和四氯化硅。不与润滑油、脂肪反应。对几乎所有的金属无腐蚀性。有时，
玻璃中的碱成分也能分解硅烷。溶解在二硫化碳中的硅烷遇到空气也可发生爆炸。硅烷广泛用于硅的外延生
长、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料，太阳能电池，光导纤维，有色玻璃制造，化学气相淀积。
中文名：硅烷/四氢化硅
分子式：SiH4
英文名：Silane
相对分子量：32.12
CASNo：7803-62-5
危险性类别：第2.1类
UNNo：2203
溶解性：溶于水
熔点：-185.0℃
沸点：-111.5℃
临界温度：-3.4℃
液体密度(-185℃)：711kg/m3
临界压力：4.84MPa
气体密度(0℃，100kPa)：1.42kg/m3
二、技术指标
检验项目
指标
硅烷（v/v）%≥
99.9995
99.9999
水分ppmv≤
0.2
0.1
氮ppmv≤
氧氩ppmv≤
0.4
COCO2ppmv≤
氢ppmv≤
30
20
氦ppmv≤
10
总碳ppmv≤
氯化物ppmv≤
甲硅醚ppmv≤
乙硅烷ppmv≤
三、包装规格(钢瓶、Y瓶)
容积（升）
47
440
充装量（公斤）
120
阀门型号
CGA350/DISS632
*可根据客户要求提供其它规格的包装。
四、硅烷的应用高纯硅烷跟高纯氨气一起用于生产太阳能薄膜电池将硅分子附着于电池表面
跟高纯乙烯一起用于LOW-E镀膜玻璃的生产
高纯硅烷应用于大规模集成电路的外延生长工艺中用作硅源
应用于国防、军事工业的研发、生产
硅烷在平板显示生产中也有重要的用途
用于低温二氧化硅CVD、用于氮化硅CVD
五、注意事项
使用硅烷的工作场所要通风，保持室内空气干燥。硅烷装置要严格密封，避免和空气、水分相接触，为
此，用气装置在使用前要用惰性气体置换里面的空气后抽真空，这样反复进行置换和抽真空，一定要彻底清
除系统中的空气和水分。装置使用以后，也要用惰性气体置换清洗系统中的硅烷。可以用氦探漏器探漏。少
量硅烷泄漏时，从氧化硅粉末的折出中也可以得知。钢瓶要存放在阴凉干燥通风良好之处，要远离热源和氯、
溴等氧化剂。工作场所要配备足够的防护用品及应急用品。硅烷本身无腐蚀性，可以使用碳钢、不锈钢、铜、
黄铜、蒙乃尔、耐蚀镍基合金，也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合体、尼龙、三氟氯乙烯树脂、聚乙
烯、聚酯、石英玻璃，不能用铅、橡胶、脂肪、润滑油、玻璃，凡是可燃性的有机高分子材料应该避免使用。
当硅烷大量泄漏时，紧接着就要着火，所以无法用灭火器灭火，但是可以控制火势，使火灾不向周围蔓延。
燃烧时辐射热不太高，所以应尽可能去关闭阀门以止住气体的流出。可用白雪石粉或石墨粉熄火。废气可用
水或碱吸收，或者在特殊燃烧器中燃烧成SiO2之后用专门的过滤器捕捉。储存于阴凉、通风的库房。远离火
种、热源。库温不宜超过40℃。应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理
设备。密闭操作，局部排风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防
毒面具（半面罩）。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装
商到有资质的压力容器检验单位进行检验。严禁使用过期钢瓶。
五、硅烷的操作说明
用一个减压器或独立的控制阀安全地从气瓶内释放硅烷。用单向阀来防止倒流。不要用明火或其它附近
的热源加热钢瓶的任何部分。使用防火花工具。不要试图对装有硅烷的钢瓶进行修理、调节或其他改动。用氢离子检测器监测硅烷的修理和在空气中的扩散，用红外/紫外监测器监测火灾。所有的监测器都应
有内锁，一旦发现问题立即自动切断硅烷气源。如果出现故障或其他操作问题，请立即与***近的分销商联系。硅烷系统中不允许使用填压阀，只允许使用非填压的膜阀和波纹管阀。在其分配系统中应安装过流阀或
过流开关。这样可以在下游管线发生爆炸时切断气源。这个开关阀应安装得离气源越近越好。如有可能应避
免单独一个人操作钢瓶。所有的操作都应这样进行,一旦发生泄漏，处理紧急情况的人员可以立即赶到。
监测系统应装备备用或应急电源。必须有遥控紧急开关，必要时可关闭硅烷气源。用合适的手推车来移动容器，保证气瓶在使用的全过程中为固定状态。不可将工具(如：扳手，螺丝刀，
等)插入阀盖内。否则会损坏阀门并引起泄漏。一旦钢瓶与吹扫和钝化过的系统连接好，应缓慢仔细地打开钢瓶阀。如果使用者在操作气瓶阀时有困难，