张晓兵;肖梅;康学军;夏柱红;祁争健;陈振乾
211189江苏省南京市江宁区东南大学路2号
南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249
杨晓玲
本发明公开了一种光学透镜的超洁净真空密封方法，将安装装置和光学透镜之间通过软性金属密封圈密封固定。本发明的光学透镜的超洁净真空密封方法，可以解决传统橡胶圈密封所引起真空污染问题，同时克服金属法兰密封的高成本问题，同时透镜的更换简单易操作。
1、10申请公布号CN104076476A43申请公布日20141001CN104076476A21申请号201410332452X22申请日20140711G02B7/0220060171申请人东南大学地址211189江苏省南京市江宁区东南大学路2号72发明人张晓兵肖梅康学军夏柱红祁争健陈振乾74专利代理机构南京瑞弘专利商标事务所普通合伙32249代理人杨晓玲54发明名称一种光学透镜的超洁净真空密封方法57摘要本发明公开了一种光学透镜的超洁净真空密封方法，将安装装置和光学透镜之间通过软性金属密封圈密封固定。本发明的光学透镜的超洁净真空密封方法，可以解决传统橡胶圈密封所引起真空污染问题，同时克服金。
2、属法兰密封的高成本问题，同时透镜的更换简单易操作。51INTCL权利要求书1页说明书3页附图3页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书3页附图3页10申请公布号CN104076476ACN104076476A1/1页21一种光学透镜的超洁净真空密封方法，其特征在于安装装置2和光学透镜1之间通过软性金属密封圈3密封固定。2根据权利要求1所述一种光学透镜的超洁净真空密封方法，其特征在于，具体步骤A、在安装装置2上制作放置软性金属密封圈3的密封槽4，所述软性金属密封圈3放置在密封槽4内；B、光学透镜1的四周设置有紧固件5形成一体结构；C、所述紧固件5将光学透镜1和软性金。
3、属密封圈3压紧在密封槽4内。3根据权利要求2所述一种光学透镜的超洁净真空密封方法，其特征在于所述软性金属密封圈3采用铝、锡、铅、铟、金、银或它们的合金材料制成。4根据权利要求3所述一种光学透镜的超洁净真空密封方法，其特征在于所述软性金属密封圈3的横截面为圆形或矩形或圆环形或弯月形，且其周长与密封槽4的周长对应。5根据权利要求2所述一种光学透镜的超洁净真空密封方法，其特征在于所述软性金属密封圈3和密封槽4形状为圆形或者方形。6根据权利要求2所述一种光学透镜的超洁净真空密封方法，其特征在于所述紧固件5为边框形结构，所述紧固件5与安装装置2对应面上开设有卡槽51，所述卡槽51的形状与光学透镜1的形状。
4、相对应，所述光学透镜1嵌入设置在卡槽51内形成一体结构。7根据权利要求2所述一种光学透镜的超洁净真空密封方法，其特征在于所述紧固件5包括至少两个一端带有凸块的固定框52，在所述光学透镜1侧面设有对应凹槽9，所述固定框52的凸块嵌入安装在凹槽9内形成一体结构。权利要求书CN104076476A1/3页3一种光学透镜的超洁净真空密封方法技术领域0001本发明涉及对真空洁净度有要求的系统中光学透镜密封带来的污染物控制技术，尤其涉及一种光学透镜的超洁净真空密封方法。背景技术0002在大功率激光泵浦光源及应用光学系统、极紫外光源光学系统、超洁净分析仪器中，大量使用光学透镜，部分透镜还需要承担不同压力差的。
5、空间之间隔离的作用，一般采用的办法有两种一种是采用橡胶圈的真空密封方案；另一种是通过玻璃金属封接的方案将透镜封接在CF不锈钢法兰上，通过不锈钢法兰上的刀口与无氧铜密封圈的压紧密封，实现空间真空隔离。第一种方案简单易操作，但是由于使用的是橡胶圈密封，橡胶圈中所使用的增塑剂、橡胶材料本身均会在产生有机蒸汽，特别是在强光照射下，释放出有机污染物，对系统的洁净度造成影响。第二种方案能够实现无污染的真空密封，但是由于将光学透镜固定的不锈钢法兰比较重，透镜与法兰间的封接对于大尺寸的光学透镜制作困难成本高，同时对易损伤且要经常更换的光学透镜，代价太大，且更换不方便。针对两种方法的不足，并结合两种方案的优点，。
6、本发明将采用橡胶圈密封的方案中的橡胶圈用铝、锡、铅、铟、金、银等软性金属制作的金属密封圈替代，通过用光学透镜将金属密封圈在被安装装置上压紧变形，达到真空密封的目的，并克服橡胶密封圈给系统带来的污染问题，同时具备易更换操作的特点。发明内容0003发明目的为了克服现有技术中存在的不足，本发明提供一种光学透镜的超洁净真空密封方法，解决传统橡胶圈密封所引起真空污染问题，同时克服金属法兰密封的高成本问题，同时透镜的更换简单易操作。0004技术方案为实现上述目的，本发明的技术方案如下0005一种光学透镜的超洁净真空密封方法，安装装置和光学透镜之间通过软性金属密封圈密封固定。0006具体步骤如下0007A、。
7、在安装装置上制作放置软性金属密封圈的密封槽，所述软性金属密封圈放置在密封槽内；0008B、光学透镜的四周设置有紧固件形成一体结构；0009C、所述紧固件将光学透镜和软性金属密封圈压紧在密封槽内。0010更进一步的，所述软性金属密封圈采用铝、锡、铅、铟、金、银或它们的合金材料制成。0011更进一步的，所述软性金属密封圈的横截面为圆形或矩形或圆环形或弯月形，且其周长与密封槽的周长对应。0012更进一步的，所述软性金属密封圈和密封槽形状为圆形或者方形。说明书CN104076476A2/3页40013更进一步的，所述紧固件为边框形结构，所述紧固件与安装装置对应面上开设有卡槽，所述卡槽的形状与光学透镜的。
8、形状相对应，所述光学透镜嵌入设置在卡槽内形成一体结构。0014更进一步的，所述紧固件包括至少两个一端带有凸块的固定框，在所述光学透镜侧面设有对应凹槽，所述固定框的凸块嵌入安装在凹槽内形成一体结构。0015有益效果本发明采用软性金属密封圈密封光学透镜与被安装装置之间的真空腔，可以解决传统橡胶圈密封所引起真空污染问题，同时克服金属法兰密封的高成本问题，同时透镜的更换简单易操作。附图说明0016附图1为本发明密封固定的第一种实施例示意图。0017附图2为本发明密封固定的第二种实施例示意图。0018附图3为本发明光学透镜与紧固件空间位置示意图。0019附图4为本发明密封槽在安装装置上的空间位置示意图。。
9、0020附图5为本发明圆形光学透镜与矩形紧固件的空间位置结构示意图。0021附图6为本发明环形截面软性金属密封圈截面示意图。0022附图7为本发明弯月形截面软性金属密封圈截面示意图。具体实施方式0023下面结合附图对本发明作更进一步的说明。0024如附图1或附图2所示，一种光学透镜的超洁净真空密封方法，安装装置2和光学透镜1之间通过软性金属密封圈3密封固定，控制由橡胶密封圈带来的有机污染物污染问题。所述软性金属密封圈3采用铝、锡、铅、铟、金、银或它们的合金材料制成。所述软性金属密封圈3的横截面为圆形或矩形或圆环形或弯月形，所述软性金属密封圈3和密封槽4形状为圆形或者方形，且软性金属密封圈3周长。
10、与密封槽4的周长对应。软性金属密封圈3的截面可以是圆形或方形或圆环性或弯月形，采用截面是圆环形的密封圈，即空心金属密封圈，目的是使密封圈易变形，起到更好密封作用。采用弯月形截面密封圈，也是使金属密封圈边缘易变形，起到好的密封作用。0025具体步骤如下0026A、在安装装置2上制作放置软性金属密封圈3的密封槽4，所述软性金属密封圈3放置在密封槽4内；0027B、光学透镜1的四周设置有紧固件5形成一体结构，形状如附图3所示；0028C、所述紧固件5将光学透镜1和软性金属密封圈3压紧在密封槽4内。0029本发明针对光学透镜1，光学透镜1通过软性金属密封圈3密封固定的方式具体分为两种0030第一种实施。
11、例，如附图10031所述紧固件5为边框形结构，所述紧固件5与安装装置2对应面上开设有卡槽51，所述卡槽51的形状与光学透镜1的形状相对应，所述光学透镜1嵌入设置在卡槽51内形成一体结构，但两者之间可以不是真空密封。如附图4所示，在安装装置2上制作光学透镜说明书CN104076476A3/3页51覆盖面积内的密封槽4，在密封槽4内放置软性金属密封圈3。将卡槽51四周布置有螺孔7，通过螺栓6将卡槽51固定在安装装置2上，并使光学透镜1完全压在软性金属密封圈3上。紧固安置在卡槽51周边的一组螺栓6，使光学透镜1压迫软性金属密封圈3使其发生形变，达到光学透镜1与安装装置2之间对真空腔10的密封。003。
12、2第二种实施例，如附图20033所述紧固件5包括至少两个一端带有凸块的固定框52，在所述光学透镜1侧面设有对应凹槽9，本实施例中，在光学透镜1的侧面一周设有一圈对应凹槽9，所述固定框52的凸块嵌入安装在凹槽9内形成一体结构，但两者之间可以不是真空密封。固定框52上设置有一组螺孔7，如附图4所示，在安装装置2上制作光学透镜1覆盖面积内的密封槽4，在密封槽4内放置软性金属密封圈3，将光学透镜1和固定框52的一体装置，通过螺栓6穿过固定框52周边的螺孔7，将固定框52固定在安装装置2的螺丝孔8上，并使光学透镜1完全压在软性金属密封圈3上。紧固安置在固定框52周边的一组螺栓6，使光学透镜1压迫软性金属。
13、密封圈3使其发生形变，达到光学透镜1与安装装置2之间对真空腔10的密封。0034所述的光学透镜1可为矩形、圆形或其他形状，矩形、圆形或其他形状的的光学透镜1与不同形状的紧固件5的固定方式均在本发明所要保护的范围内。附图5为本发明的一种实施例示意图，圆形光学透镜1与矩形紧固件5的空间位置结构示意图。0035以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。说明书CN104076476A1/3页6图1图2说明书附图CN104076476A2/3页7图3图4说明书附图CN104076476A3/3页8图5图6图7说明书附图CN104076476A。