通过ICP,GDMS等设备检测分析,金属杂质含量,确保纯度达标;
通过碳硫分析仪,氮氧分析仪等设备对非金属杂质含量进行检测。
通过探伤设备检测靶材,确保产品内部无缺陷、缩孔;
通过金相测试,检测靶材内部晶粒程度,以保证晶粒细密。
通过千分尺,精密卡尺,测量产品尺寸,以确保符合图纸要求;
通过表面清洁度仪测量产品表面光洁度及清洁程度
内部真空袋真空包装,外部为定制产品靶材盒,纸箱快递运输
收到产品后,需储存于干燥环境,密封包装,轻拿轻放,防压防撞
使用前观察靶材表面是否清洁,带上干净的手套操作,避免直接用手接触物料,勿被油污等异物污染
应用于各种单靶溅射系统,多靶溅射系统,离子溅射系统等磁控溅射设备
平面显示、特种涂层等
国产品牌:北方华创、中科科仪、沈阳科仪、中电科、微电子所、南光机器厂、创世威钠、金盛微纳、
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