互连导线:在最早的CMOS工艺中,铝是主要的互连材料。
电极和接触:与硅或其他材料形成良好的欧姆接触。
钨(W):
接触填充:用于填充与活性硅区域的接触孔。
局部互连:在某些工艺中,钨用作垂直或水平的局部互连。
屏敝层:用于隔离铝或铜与硅之间,防止金属与硅的扩散。
粘附层:提高金属与下层之间的附着力。
栅电极:在某些金属栅技术中使用。
银(Ag):导电浆料:用于某些先进的封装技术。电镀:电镀锡银合金镍(Ni):硅化物形成:与硅反应形成镍硅化物,用于某些接触应用。磁性金属:被广泛用于磁性应用,如磁头、磁性屏蔽和磁性核心材料。
编辑:黄飞
原文标题:常见的芯片金属材料汇总
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