正如之前预告的那样,此次国产半导体制造设备厂商成为了打击重点,北方华创、拓荆科技、盛美上海、至纯科技、中科飞测、新凯来、凯世通、华峰测控、北京烁科、华海清科、芯源微等半导体设备厂商及其部分子公司都被列入了实体清单。
此外被列入实体清单的还有:国产半导体制造商昇维旭、青岛芯恩、鹏新旭;国产EDA大厂华大九天及其子公司;国产光刻胶厂商南大光电及其子公司;国产大硅片厂商上海新昇及其子公司;至纯科技、南大光电旗下的国产电子特气公司;国产功率半导体及ODM厂商闻泰科技(其控股子公司安世半导体应该不受影响);半导体投资机构建广资产和智路资本。
AccoTestTechnologyCo.,Ltd.(HongKong);(爱格测试技术有限公司)
ACMResearch(Shanghai);(盛美上海)
BeijingE-TownSemiconductorTechnologyCo.,Ltd.;(北京屹唐半导体科技股份有限公司)
BeijingGuangkeXintuTechnologyCo.,Ltd.;(光科芯图(北京)科技有限公司)
BeijingGuoweiIntegrationTechnologyCo.,Ltd.;(北京国微集成技术有限公司,经查该公司已注销。)
BeijingHuadaJiutianTechnologyCo.,Ltd.;(北京华大九天科技股份有限公司)
BeijingHuafengElectronicEquipmentCo.,Ltd.;(北京华峰装备技术有限公司)
BeijingHuafengTest&ControlTechnologyCo.,Ltd.;(北京华峰测控技术股份有限公司)
BeijingJingyuanMicroelectronicsTechnologyCo.,Ltd.;(这里说的不清楚,可能是“中科晶源微电子技术(北京)有限公司”)
BeijingKaishitongSemiconductorCo.,Ltd.;(北京凯世通半导体有限公司)
BeijingNauraMicroelectronicsEquipmentCo.,Ltd.;(北京北方华创微电子装备有限公司)
BeijingNauraSemiconductorEquipmentCo.,Ltd.;(北京北方华创半导体装备有限公司)
BeijingSevenstarFlowmeterCo.,Ltd.;(北京七星华创流量计有限公司)
BeijingSevenstarIntegratedCircuitEquipmentCo.,Ltd.;(北京七星华创集成电路装备有限公司)
BeijingShuokeZhongkexinElectronicEquipmentCo.,Ltd.;(北京烁科中科信电子装备有限公司)
BeijingSkyverseTechnologyCo.,Ltd.;(北京中科飞测科技有限公司)
BeijingZhongkeXinElectronicEquipment;(中电科烁科电子装备(北京)有限公司)
ChangguangJizhiOpticalTechnologyCo.,Ltd.;(长光集智光学科技有限公司)
ChangshaZhichunApplicationTechnologyCo.,Ltd.;(长沙至纯应用科技有限公司)
ChengduHuadaJiutiankeTechnologyCo.,Ltd.;(成都华大九天科技有限公司)
ChengduSkyverseTechnologyCo.,Ltd.;(成都中科飞测科技有限公司)
ChineseAcademyofSciencesInstituteofMicroelectronics;(中国科学院微电子研究所工会)
DongfangJingyuanElectronCo.,Ltd.;(东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司)
GuangzhouHuadaJiutianTechnologyCo.,Ltd.;(广州华大九天科技有限公司)
GuangzhouSkyverseTechnologyCo.,Ltd.;(广州中科飞测科技有限公司)
GuoweiGroup(Shenzhen)Co.,Ltd.;(国微集团(深圳)有限公司)
HefeiKaishitongSemiconductorCo.,Ltd.;(合肥凯世通半导体有限公司)
HefeiNauraMicroelectronicsEquipmentCo.,Ltd.;(合肥北方华创微电子装备有限公司)
HefeiZhihuiSemiconductorApplicationTechnologyCo.,Ltd.;(合肥至汇半导体应用技术有限公司)
HefeiZhiweiMicroelectronicsCo.,Ltd.;(合肥至微微电子有限公司)
HefeiZhiweiSemiconductorCo.,Ltd.;(合肥至微半导体有限公司)
HuafengTest&ControlTechnology(Tianjin)Co.,Ltd.;(华峰测控技术(天津)有限责任公司)
HwaTsing(Beijing)TechnologyCo.,Ltd.;(华海清科(北京)科技有限公司)
HwaTsing(Guangzhou)SemiconductorCo.,Ltd.;(华海清科(广州)半导体有限公司)
HwaTsing(Shanghai)SemiconductorCo.,Ltd.;HwaTsingTechnologyCo.,Ltd.;(华海清科(上海)半导体有限公司)
JACCapital;(建广资本)
JiangsuNataOptoelectronicMaterialCo.,Ltd.;(江苏南大光电材料股份有限公司)
JiangsuQiweiSemiconductorEquipmentCo.,Ltd.;(江苏启微半导体设备有限公司)
JiangsuZhichunSystemIntegrationCo.,Ltd.;(江苏至纯系统集成有限公司)
KingstoneTechnologyHongKongLimited;(凯世通科技香港有限公司)
NandaOptoelectronicSemiconductorMaterialsCo.,Ltd.;(南大光电半导体材料有限公司)
NanjingHuadaJiutiankeTechnologyCo.,Ltd.;(南京华大九天科技有限公司)
NauraTechnologyGroupCo.,Ltd.;(北方华创科技集团股份有限公司)
NingboNandaOptoelectronicMaterialsLtd.;(宁波南大光电材料有限公司)
NorthernIntegratedCircuitTechnologyInnovationCenter(Beijing)Co.,Ltd.;(北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司)
OrientalCrystalMicroelectronicsTechnology(Qingdao)Co.,Ltd.;(东方晶源微电子科技(青岛)有限公司)
OrientalCrystalMicroelectronicsTechnology(Shanghai)Co.,Ltd.;(东方晶源微电子科技(上海)有限公司)
Piotech;(拓荆科技)
Piotech(Beijing)Co.,Ltd.;(拓荆科技(北京)有限公司)
Piotech(Shanghai)Co.,Ltd.;(拓荆科技(上海)有限公司)
PiotechChuangyi(Shenyang)SemiconductorEquipmentCo.,Ltd.;(拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司)
PiotechJianke(Haining)SemiconductorEquipmentCo.,Ltd.;(拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司)
QingxinTechnologyCo.,Ltd.;(清芯科技有限公司)
QuanjiaoNandaOptoelectronicMaterialsLtd.;(全椒南大光电材料有限公司)
RaintreeScientificInstruments(Shanghai)Corporation;(睿励科学仪器(上海)有限公司)
RuiliMicroelectronicsEquipment(Shanghai)Co.,Ltd.;(睿励微电子设备(上海)有限公司,经查已注销)
ShandongFeiyuanGasCo.,Ltd.;(南大光电(淄博)有限公司)
ShanghaiAGMGasCo.,Ltd.;(上海艾格姆气体有限公司,为南大光电控股子公司)
ShanghaiAipusiPrecisionEquipmentCo.,Ltd.;(上海艾璞思精密设备有限公司)
ShanghaiFeiaiTechnologyCo.,Ltd.;(上海飞埃技术有限公司)
ShanghaiHuadaJiutianInformationTechnologyCo.,Ltd.;(上海华大九天信息科技有限公司)
ShanghaiIntegratedCircuitEquipment&MaterialsIndustryInnovationCenterCo.,Ltd.;(上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司)
ShanghaiJingceSemiconductorTechnologyCo.,Ltd.;(上海精测半导体技术有限公司)
ShanghaiJingzhuoInformationTechnologyCo.,Ltd.;(上海精卓信息技术有限公司)
ShanghaiKaishitongSemiconductorCo.,Ltd.;(上海凯世通半导体股份有限公司)
ShanghaiLingangKaishitongSemiconductorCo.,Ltd.;(上海临港凯世通半导体有限公司)
ShanghaiLizhiTechnologyCo.,Ltd.;(上海砺致科技有限公司)
ShanghaiModernAdvancedUltra-PrecisionManufacturingCenterCo.,Ltd.;(上海现代先进超精密制造中心有限公司)
ShanghaiNanpreMechanicsCo.,Ltd.;(上海微高精密机械工程有限公司)
ShanghaiNauraMicroelectronicsEquipmentCo.,Ltd.;(上海北方华创微电子装备有限公司)
ShanghaiSiwaveTechnologyCo.,Ltd.;(上海芯物科技有限公司)
ShanghaiSkyverseSemiconductorTechnologyCo.,Ltd.;(上海中科飞测半导体科技有限公司)
ShanghaiXinshengJingruiSemiconductorTechnologyCo.,Ltd.;(上海新昇晶睿半导体科技有限公司)
ShanghaiXinshengJingtouSemiconductorTechnologyCo.,Ltd.;(上海新昇晶投半导体科技有限公司)
ShanghaiXinshengJinkoSemiconductorTechnologyCo.,Ltd.;(上海新昇晶投半导体科技有限公司)
ShanghaiXinshengSemiconductorTechnologyCo.,Ltd.;(上海新昇半导体科技有限公司)
ShanghaiYanquanTechnologyCo.,Ltd.;(上海岩泉科技有限公司)
ShanghaiYuliangshengTechnologyCo.,Ltd.;(上海宇量昇科技有限公司)
ShanghaiYuweiSemiconductorTechnologyCo.,Ltd.;(上海御微半导体技术有限公司)
ShanghaiZhichunAlloyManufacturingCo.,Ltd.;(上海诺同合金制造有限公司)
ShanghaiZhichunElectronicTechnologyCo.,Ltd.;(上海至纯电子科技有限公司)
ShanghaiZhichunOptoelectronicEquipmentCo.,Ltd.;(上海泛楒立光电设备有限公司,为上海至纯洁净系统科技股份有限公司全资子公司)
ShanghaiZhichunPrecisionGasCo.,Ltd.;(上海至纯精密气体有限公司)
ShanghaiZhichunPrecisionManufacturingCo.,Ltd.;(上海至纯精密制造有限公司)
ShanghaiZhichunPurificationSystemTechnologyCo.,Ltd.;(上海至纯洁净系统科技股份有限公司)
ShanghaiZhichunSemiconductorEquipmentCo.,Ltd;(上海至纯半导体设备有限公司)
ShanghaiZhichunSystemIntegrationCo.,Ltd.;(上海至纯系统集成有限公司)
ShanghaiZhijiaSemiconductorGasCo.,Ltd.;(上海至嘉半导体气体有限公司)
ShanghaiZixiOpticalTechnologyCo.,Ltd.;(上海紫锡光学技术有限公司)
ShengmeiSemiconductorEquipment(Beijing)Co.,Ltd.;(盛美半导体设备(北京)有限公司)
ShengmeiSemiconductorEquipmentWuxiCo.,Ltd.;(盛美半导体设备无锡有限公司)
ShengweiSemiconductorEquipment(Shanghai)Co.,Ltd.;(盛帷半导体设备(上海)有限公司)
ShenyangXinyuanMicroBusinessDevelopmentCo.,Ltd.;(沈阳芯源微商业发展有限公司,未找到对应工商注册名)
ShenyangXinyuanMicroelectronicEquipmentCo.,Ltd.;(沈阳芯源微电子设备股份有限公司)
ShenzhenGuoweiHongboTechnologyCo.,Ltd.;(深圳国微鸿博科技有限公司,经查“已注销”)
ShenzhenGuoweiSensingTechnologyCo.,Ltd.;(深圳国微感知技术有限公司)
ShenzhenGuoweichipTechnologyCo.,Ltd.;(深圳国微芯科技有限公司)
ShenzhenHuadaJiutiankeTechnologyCo.,Ltd.;(深圳华大九天科技有限公司)
ShenzhenJingyuanInformationTechnologyCo.,Ltd.;(深圳晶源信息技术有限公司)
ShenzhenNauraMicroelectronicsEquipmentCo.,Ltd.;(深圳北方华创微电子装备有限公司)
ShenzhenPengxinxuTechnologyCo.,Ltd.;(深圳市鹏新旭技术有限公司)
ShenzhenQianhaiSkyverseSemiconductorTechnologyCo.,Ltd.;(深圳前海中科飞测科技有限公司)
ShenzhenSiCarrierTechnologiesCo.,Ltd.;(深圳市新凯来技术有限公司)
ShenzhenXinkailaiIndustrialMachineryCo.,Ltd.;(深圳市新凯来工业机器有限公司)
ShenzhenZhanggeInstrumentCo.,Ltd.;(深圳市章阁仪器有限公司)
Si’EnQingdaoCo.Ltd.;(芯恩(青岛)集成电路有限公司)
Skyverse;(深圳中科飞测科技股份有限公司)
SkyverseLimited;(中科飞测香港公司)
SMICAdvancedTechnologyR&D(Shanghai)Corporation;(中芯国际集成电路新技术研发(上海)有限公司)
SuzhouNandaOptoelectronicMaterialsCo.,Ltd.;(南大光电(苏州)有限公司)
SwaySureTechnologyCo.,Ltd.;(深圳市昇维旭技术有限公司)
TaiyuanJinkeSemiconductorTechnologyCo.,Ltd.;(太原晋科半导体科技有限公司
UlanqabNandaMicroelectronicsMaterialsCo.,Ltd.;(南大光电(乌兰察布)有限公司
WingtechTechnologyCo.,Ltd.;(闻泰科技股份有限公司)
WiseRoadCapital;(北京智路资产管理有限公司)
WuhanNauraMicroelectronicsEquipmentCo.,Ltd.;(武汉北方华创微电子装备有限公司)
WuhanSkyverseSemiconductorTechnologyCo.,Ltd.;(武汉中科飞测半导体科技有限公司)
WuhanXinxinSemiconductorManufacturingCompanyLimited;(武汉新芯集成电路股份有限公司)
WuhanYiguangTechnologyCo.,Ltd.;(武汉颐光科技有限公司)
WuxiKaishitongTechnologyCo.,Ltd.;(无锡凯世通科技有限公司)
WuxiNauraMicroelectronicsEquipmentCo.,Ltd.;(无锡北方华创微电子装备有限公司)
XiamenSkyverseTechnologyCo.,Ltd.;(厦门中科飞测科技有限公司)
Xi’anHuadaJiutianTechnologyCo.,Ltd.;(西安华大九天科技有限公司)
Xi’anNauraMicroelectronicsEquipmentCo.,Ltd.;(西安北方华创微电子装备有限公司)
XinlianRongchuangIntegratedCircuitIndustryDevelopment(Beijing)Co.,Ltd.;(芯链融创集成电路产业发展(北京)有限公司)
YushengMicroSemiconductor(Shanghai)Co.,Ltd.;(御盛微半导体(上海)有限公司)
YuweiSemiconductorTechnologyCo.,Ltd.;(上海御微半导体技术有限公司)
ZhangjiangLaboratory;(张江实验室)
ZhejiangShenqihangTechnologyCo.,Ltd.;(浙江申启杭科技有限责任公司)
ZhejiangZhichunPrecisionManufacturingCo.,Ltd.;(浙江至纯精密制造有限公司)
ZhiweiSemiconductor(Shanghai)Co.,Ltd.;(至微半导体(上海)有限公司)
ZhiyiHighPurityElectronicMaterials(Shanghai)Ltd.;(至一高纯电子材料(上海)有限公司)
ZhuhaiCornerstoneTechnologyCo.,Ltd.;(珠海基石科技有限公司)
ZhuhaiSkyverseTechnologyCo.,Ltd.;(珠海中科飞测科技有限公司)
ZiboKeyuanxinFluorineTradingLtd.(淄博科源芯氟商贸有限公司)
小结:
综合上述名单来看,受此次实体清单影响最大的当属国产半导体设备产业,众多国内头部的半导体设备厂商均被制裁,这也意味着这些厂商的将无法采购美系的零部件。不过,值得注意的是,中微公司并未被列入实体清单。
在此前《沪市汇·硬科硬客》第十期节目“半导体设备突围关键局”活动中,拓荆科技董事长吕光泉,中微公司董事长尹志尧,华海清科总经理张国铭,中科飞测董事长陈鲁曾共同探讨了国产半导体设备的自主可控之路。
中微公司董事长尹志尧当时就曾透露,目前中微公司的刻蚀机上有60%的零部件是国内采购的,在MOCVD设备上的零部件国内采购比例高达80%。但是,这60~80%之中,还有一部分是由国外比较领先的供应厂商在中国的子公司做的,剩下的20-40%则仍依赖于进口,依然是离不开国外的供应商。当然,这部分零部件未来可能也会受到一些限制,因此国产设备商/零部件商最近两年也正在解决这些零部件的自主可控问题。
中科飞测董事长陈鲁透露,由于检测设备所需要的零部件跟制程设备不太一样,因此国内在这方面的零部件供应链比较薄弱。“我们很早就开始做这方面的工作了,也有在自研零部件。”
同样,CMP设备所需的很多核心零部件国内也买不到。华海清科总经理张国铭指出:“我们的竞争对手所需的核心零部件都是自己做的,不是买的第三方的,他们也不对外卖。所以华海清科从开始的时候,就必须得自己去攻克,如果不攻克,我们的设备就卖不出去。所以这一部分的核心零部件,那我们一直在持续研发和迭代,现在的进展比较理想,应该没有什么卡壳的问题或者存在很大的风险。对于其他类型的零部件,我们做本地化供应、或者安全供应链的工作也比较早,其实很早就把它当成一个重点任务来抓了,所以目前进展都还比较顺利。基本实现了自主可控。”
从现有的信息来看,虽然美国此次制裁对于中国半导体设备产业可谓是重点打击,但是鉴于这两年国产半导体设备厂商为防范美国方面的打压,早已经在积极的去美化,并且也都已经取得了不错的成果,所以整体来说虽然有一定的影响,但是并不严重。
至于对国产EDA大厂华大九天的制裁,也影响不大,毕竟EDA软件的核心是人才,对于美系产品的需求相对有限。同样,美国对于国产半导体材料厂商的制裁所能够起到的作用也比较有限。
受到影响最大的应该是昇维旭、青岛芯恩、鹏新旭这几家半导体制造厂商,毕竟如果无法取得美日荷的半导体设备和零部件供应,就意味着后续的工厂的运转可能将会受到较大影响。